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FERRITE THIN FILM AND COIL COMPONENT
To provide a ferrite thin film having high magnetic permeability and low magnetic loss, and a coil component including the ferrite thin film.SOLUTION: A composition which is a ferrite thin film containing a ferrite composition represented by the composition formula CoxNiyZnzFe(3-(x+y+z))O4 satisfies 0.1≤x≤0.5, 0.0≤y≤0.4, 0.0≤z≤0.4, and (x+y+z)≤1, and the ferrite composition has a spinel type crystal structure. The half width of the rocking curve representing the degree of orientation of the (111) plane in the perpendicular direction of the ferrite thin film is 10° or more and 35° or less.SELECTED DRAWING: Figure 2B
【課題】透磁率が高く、かつ、磁気損失が低いフェライト薄膜、および、当該フェライト薄膜を含むコイル部品を提供すること。【解決手段】組成式ＣｏxＮｉyＺｎzＦｅ(3-(x+y+z))Ｏ4で表されるフェライト組成物を含むフェライト薄膜である、組成式は、０．１≦ｘ≦０．５、０．０≦ｙ≦０．４、０．０≦ｚ≦０．４、および、（ｘ＋ｙ＋ｚ）≦１を満たし、フェライト組成物は、スピネル型の結晶構造を有する。そして、フェライト薄膜の面直方向における（１１１）面の配向度を表すロッキングカーブの半値幅が、１０°以上３５°以下である。【選択図】図２Ｂ
FERRITE THIN FILM AND COIL COMPONENT
To provide a ferrite thin film having high magnetic permeability and low magnetic loss, and a coil component including the ferrite thin film.SOLUTION: A composition which is a ferrite thin film containing a ferrite composition represented by the composition formula CoxNiyZnzFe(3-(x+y+z))O4 satisfies 0.1≤x≤0.5, 0.0≤y≤0.4, 0.0≤z≤0.4, and (x+y+z)≤1, and the ferrite composition has a spinel type crystal structure. The half width of the rocking curve representing the degree of orientation of the (111) plane in the perpendicular direction of the ferrite thin film is 10° or more and 35° or less.SELECTED DRAWING: Figure 2B
【課題】透磁率が高く、かつ、磁気損失が低いフェライト薄膜、および、当該フェライト薄膜を含むコイル部品を提供すること。【解決手段】組成式ＣｏxＮｉyＺｎzＦｅ(3-(x+y+z))Ｏ4で表されるフェライト組成物を含むフェライト薄膜である、組成式は、０．１≦ｘ≦０．５、０．０≦ｙ≦０．４、０．０≦ｚ≦０．４、および、（ｘ＋ｙ＋ｚ）≦１を満たし、フェライト組成物は、スピネル型の結晶構造を有する。そして、フェライト薄膜の面直方向における（１１１）面の配向度を表すロッキングカーブの半値幅が、１０°以上３５°以下である。【選択図】図２Ｂ
FERRITE THIN FILM AND COIL COMPONENT
フェライト薄膜およびコイル部品
MIYAZAKI SHOTA (author) / NAKANO TAKUMA (author) / MATSUTANI ATSUO (author)
2023-09-29
Patent
Electronic Resource
Japanese