A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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To provide a work-piece holder capable of enhancing the volume resistance of an aluminum nitride substrate.SOLUTION: A work-piece holder 10 according to the present invention comprises an aluminum nitride substrate 1 and an internal electrode 2 disposed on the aluminum nitride substrate 1. The aluminum nitride substrate 1 comprises a plurality of aluminum nitride particles 11 and aluminum oxynitride particles 12 present on the crystal grain boundaries of the aluminum nitride particles 11. Titanium 13 is dissolved in the aluminum oxynitride particles 12 in a state of a solid solution.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】窒化アルミニウム基体の体積固有抵抗を高めることができる試料保持具を提供する。【解決手段】本開示の試料保持具１０は、窒化アルミニウム基体１と、窒化アルミニウム基体１に設けられた内部電極２と、を備えている。窒化アルミニウム基体１は、複数の窒化アルミニウム粒子１１および窒化アルミニウム粒子１１同士の結晶粒界に位置する酸窒化アルミニウム粒子１２を有する。酸窒化アルミニウム粒子１２にはチタン１３が固溶している。【選択図】図２
To provide a work-piece holder capable of enhancing the volume resistance of an aluminum nitride substrate.SOLUTION: A work-piece holder 10 according to the present invention comprises an aluminum nitride substrate 1 and an internal electrode 2 disposed on the aluminum nitride substrate 1. The aluminum nitride substrate 1 comprises a plurality of aluminum nitride particles 11 and aluminum oxynitride particles 12 present on the crystal grain boundaries of the aluminum nitride particles 11. Titanium 13 is dissolved in the aluminum oxynitride particles 12 in a state of a solid solution.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】窒化アルミニウム基体の体積固有抵抗を高めることができる試料保持具を提供する。【解決手段】本開示の試料保持具１０は、窒化アルミニウム基体１と、窒化アルミニウム基体１に設けられた内部電極２と、を備えている。窒化アルミニウム基体１は、複数の窒化アルミニウム粒子１１および窒化アルミニウム粒子１１同士の結晶粒界に位置する酸窒化アルミニウム粒子１２を有する。酸窒化アルミニウム粒子１２にはチタン１３が固溶している。【選択図】図２
WORK-PIECE HOLDER
試料保持具
NARASAKI YOSHISATO (author)
2023-11-17
Patent
Electronic Resource
Japanese
| British Library Online Contents | 2004
afforestation method using a slanted holder one-piece mesh
| European Patent Office | 2017
afforestation method using a slanted holder one-piece mesh
European Patent Office | 2018