A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC HEATER AND CERAMIC HEATER WITH SHAFT
To provide a ceramic heater capable of preventing the resistance of an electrode for an inner heater from becoming too low than the resistance of an electrode for an outer heater, and thereby capable of equalizing the temperature distribution on a mounting surface.SOLUTION: A ceramic heater 100 includes: a disc-like substrate 110 having a mounting surface 112, and comprising a ceramic sintered body containing AlN as a main component and a total of 0.1 wt.% or more and 10 wt.% or less of a grain boundary composition that contains yttrium, or other rare earth compound or alkaline earth metal compound; an electrode 120 for a heater embedded in the substrate and including Mo meshes divided into a plurality of areas; and a planar electrode 130 embedded in the substrate and having an area that is 40% or more of an area of the mounting surface in a shape seen through from a mounting surface side. At least an electrode 122 for an inner heater, of the electrode for the heater, located at the innermost position of the substrate in a radial direction contains Mo2C.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】内側ヒーター用電極の抵抗が外側ヒーター用電極の抵抗より低くなりすぎることを抑制することができ、載置面の温度分布を均温化することができるセラミックスヒーターを提供する。【解決手段】セラミックスヒーター１００であって、載置面１１２を有し、ＡｌＮを主成分としイットリウムもしくはその他の希土類化合物またはアルカリ土類金属化合物を含む粒界組成物を合計で０．１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下含むセラミックス焼結体からなる円盤状の基材１１０と、前記基材に埋設され、複数の領域に分割されたＭｏメッシュを含むヒーター用電極１２０と、前記基材に埋設され、前記載置面側から透視した形状で、面積が前記載置面の面積の４０％以上である平面状電極１３０と、を備え、前記ヒーター用電極のうち、少なくとも前記基材の径方向最内に位置する内側ヒーター用電極１２２は、Ｍｏ２Ｃが含まれる。【選択図】図１
CERAMIC HEATER AND CERAMIC HEATER WITH SHAFT
To provide a ceramic heater capable of preventing the resistance of an electrode for an inner heater from becoming too low than the resistance of an electrode for an outer heater, and thereby capable of equalizing the temperature distribution on a mounting surface.SOLUTION: A ceramic heater 100 includes: a disc-like substrate 110 having a mounting surface 112, and comprising a ceramic sintered body containing AlN as a main component and a total of 0.1 wt.% or more and 10 wt.% or less of a grain boundary composition that contains yttrium, or other rare earth compound or alkaline earth metal compound; an electrode 120 for a heater embedded in the substrate and including Mo meshes divided into a plurality of areas; and a planar electrode 130 embedded in the substrate and having an area that is 40% or more of an area of the mounting surface in a shape seen through from a mounting surface side. At least an electrode 122 for an inner heater, of the electrode for the heater, located at the innermost position of the substrate in a radial direction contains Mo2C.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】内側ヒーター用電極の抵抗が外側ヒーター用電極の抵抗より低くなりすぎることを抑制することができ、載置面の温度分布を均温化することができるセラミックスヒーターを提供する。【解決手段】セラミックスヒーター１００であって、載置面１１２を有し、ＡｌＮを主成分としイットリウムもしくはその他の希土類化合物またはアルカリ土類金属化合物を含む粒界組成物を合計で０．１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下含むセラミックス焼結体からなる円盤状の基材１１０と、前記基材に埋設され、複数の領域に分割されたＭｏメッシュを含むヒーター用電極１２０と、前記基材に埋設され、前記載置面側から透視した形状で、面積が前記載置面の面積の４０％以上である平面状電極１３０と、を備え、前記ヒーター用電極のうち、少なくとも前記基材の径方向最内に位置する内側ヒーター用電極１２２は、Ｍｏ２Ｃが含まれる。【選択図】図１
CERAMIC HEATER AND CERAMIC HEATER WITH SHAFT
セラミックスヒーター、およびシャフト付きセラミックスヒーター
KITABAYASHI TETSUO (author) / SHIMOJIMA HIROMASA (author)
2024-05-13
Patent
Electronic Resource
Japanese