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SILICA THERMAL REFLECTION PLATE
To provide a silica thermal reflection plate capable of achieving a lower heat capacity of the silica thermal reflection plate as compared to a conventional one, and suppressing a reaction of a first reflective layer as a reflector and a bonding layer by bonding silica plates in order to surround the reflector at front surface activation bonding, and achieving small deterioration in reflection ratio with time.SOLUTION: A silica thermal reflection plate according to the preset disclosure, includes: a first silica plate 1a; a first reflective layer 4a that is provided to a first inside surface 8a surrounded by a first peripheral annular front surface 7a of one front surface of the first silica plate, and is formed of one kind selected from the group consisting of Ir, Pt, Rh, Ru, Re, Hf, and Mo or an alloy containing at least any one kind selected from the group; a first barrier layer 5a that covers the first reflective layer; a second silica plate 1b; a bonding layer 3; and a surface activation bonding part 2 in which the first peripheral annular front surface and a second peripheral annular front surface 7b are bonded via the bonding layer.SELECTED DRAWING: Figure 3
【課題】本開示は、従来と比べて、シリカ熱反射板の低熱容量化を実現しつつ、反射体を囲い込むためにシリカ板同士を表面活性化接合にて接合したとしても、反射体である第1反射層と接合剤層との反応を抑制することで、反射率の経時低下が少ない長寿命のシリカ熱反射板を提供することを目的とする。【解決手段】本開示に係るシリカ熱反射板は、第1シリカ板1aと、第1シリカ板の一方の表面のうち、第1周縁環状表面7aに囲まれた第1内側表面8aに設けられたIr、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及びMoの群から選ばれた1種からなるか、又は、この群より選ばれた少なくともいずれか1種を含む合金からなる第1反射層4aと、第1反射層を覆う第1バリア層5aと、第2シリカ板1bと、接合剤層3と、第1周縁環状表面と第2周縁環状表面7bとが接合剤層を介して接合された表面活性化接合部2と、を有する。【選択図】図3
SILICA THERMAL REFLECTION PLATE
To provide a silica thermal reflection plate capable of achieving a lower heat capacity of the silica thermal reflection plate as compared to a conventional one, and suppressing a reaction of a first reflective layer as a reflector and a bonding layer by bonding silica plates in order to surround the reflector at front surface activation bonding, and achieving small deterioration in reflection ratio with time.SOLUTION: A silica thermal reflection plate according to the preset disclosure, includes: a first silica plate 1a; a first reflective layer 4a that is provided to a first inside surface 8a surrounded by a first peripheral annular front surface 7a of one front surface of the first silica plate, and is formed of one kind selected from the group consisting of Ir, Pt, Rh, Ru, Re, Hf, and Mo or an alloy containing at least any one kind selected from the group; a first barrier layer 5a that covers the first reflective layer; a second silica plate 1b; a bonding layer 3; and a surface activation bonding part 2 in which the first peripheral annular front surface and a second peripheral annular front surface 7b are bonded via the bonding layer.SELECTED DRAWING: Figure 3
【課題】本開示は、従来と比べて、シリカ熱反射板の低熱容量化を実現しつつ、反射体を囲い込むためにシリカ板同士を表面活性化接合にて接合したとしても、反射体である第1反射層と接合剤層との反応を抑制することで、反射率の経時低下が少ない長寿命のシリカ熱反射板を提供することを目的とする。【解決手段】本開示に係るシリカ熱反射板は、第1シリカ板1aと、第1シリカ板の一方の表面のうち、第1周縁環状表面7aに囲まれた第1内側表面8aに設けられたIr、Pt、Rh、Ru、Re、Hf及びMoの群から選ばれた1種からなるか、又は、この群より選ばれた少なくともいずれか1種を含む合金からなる第1反射層4aと、第1反射層を覆う第1バリア層5aと、第2シリカ板1bと、接合剤層3と、第1周縁環状表面と第2周縁環状表面7bとが接合剤層を介して接合された表面活性化接合部2と、を有する。【選択図】図3
SILICA THERMAL REFLECTION PLATE
シリカ熱反射板
MARUKO TOSHIHIRO (author) / ISHIGURO YOSHIHIRO (author) / MATSUMURA TAKANOBU (author) / ITABASHI ATSUSHI (author)
2024-10-03
Patent
Electronic Resource
Japanese