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METHOD OF FORMING LEAD ZIRCONATE TITANATE SINTERED COMPACT LEAD ZIRCONATE TITANATE SINTERED COMPACT AND LEAD ZIRCONATE TITANATE SPUTTERING TARGET
본 발명은 결정상이 균일하고, 고밀도인 PbO 함유량이 많은 티탄산 지르콘산납계 소결체의 제조방법을 제공함을 과제로 한다. 본 발명에 관한 티탄산 지르콘산납계 소결체의 제조방법은, 화학량론 조성으로 혼합한 티탄산 지르콘산납의 원료분말을 900℃이상 1200℃이하의 온도에서 소결한 예비 소결체를 제작하고, 상기 예비 소결체를 분쇄하고, 상기 분쇄한 예비 소결체의 분말에 PbO 분말을 첨가하여 납과잉 혼합분말을 제작하고, 상기 납과잉 혼합분말을 상기 예비 소결체의 소결온도보다 낮은 온도에서 소결한다. 소결공정을 2단계로 나누는 것으로, PbZrO, PbTiO, ZrO, TiO, PbO 그외 중간화합물이 존재하지 않는 화학량론 조성의 PZT와 과잉분의 PbO 2종의 결정상만으로 되는 고밀도(예를 들면 95%이상)의 PZT 소결체를 얻을 수 있다.
To obtain a method of producing a high-density lead zirconium titanate-based sintered body having uniform crystalline phases and containing a large amount of PbO, provided is a method of producing a lead zirconium titanate-based sintered body, including: producing a pre-sintered body by sintering raw material powder of lead zirconium titanate having a stoichiometric composition at a temperature of 900° C. or more and 1,200° C. or less; pulverizing the pre-sintered body; producing lead-excessive mixed powder by adding PbO powder to powder obtained by pulverizing the pre-sintered body; and sintering the lead-excessive mixed powder at a temperature lower than the sintering temperature of the pre-sintered body. Because the sintering process is divided into two stages, a high-density (e.g., 95% or more) PZT sintered body constituted only of PZT having a stoichiometric composition in which PbZrO3, PbTiO3, ZrO2, TiO2, PbO, and other intermediate compounds are absent, and excessive PbO can be obtained.
METHOD OF FORMING LEAD ZIRCONATE TITANATE SINTERED COMPACT LEAD ZIRCONATE TITANATE SINTERED COMPACT AND LEAD ZIRCONATE TITANATE SPUTTERING TARGET
본 발명은 결정상이 균일하고, 고밀도인 PbO 함유량이 많은 티탄산 지르콘산납계 소결체의 제조방법을 제공함을 과제로 한다. 본 발명에 관한 티탄산 지르콘산납계 소결체의 제조방법은, 화학량론 조성으로 혼합한 티탄산 지르콘산납의 원료분말을 900℃이상 1200℃이하의 온도에서 소결한 예비 소결체를 제작하고, 상기 예비 소결체를 분쇄하고, 상기 분쇄한 예비 소결체의 분말에 PbO 분말을 첨가하여 납과잉 혼합분말을 제작하고, 상기 납과잉 혼합분말을 상기 예비 소결체의 소결온도보다 낮은 온도에서 소결한다. 소결공정을 2단계로 나누는 것으로, PbZrO, PbTiO, ZrO, TiO, PbO 그외 중간화합물이 존재하지 않는 화학량론 조성의 PZT와 과잉분의 PbO 2종의 결정상만으로 되는 고밀도(예를 들면 95%이상)의 PZT 소결체를 얻을 수 있다.
To obtain a method of producing a high-density lead zirconium titanate-based sintered body having uniform crystalline phases and containing a large amount of PbO, provided is a method of producing a lead zirconium titanate-based sintered body, including: producing a pre-sintered body by sintering raw material powder of lead zirconium titanate having a stoichiometric composition at a temperature of 900° C. or more and 1,200° C. or less; pulverizing the pre-sintered body; producing lead-excessive mixed powder by adding PbO powder to powder obtained by pulverizing the pre-sintered body; and sintering the lead-excessive mixed powder at a temperature lower than the sintering temperature of the pre-sintered body. Because the sintering process is divided into two stages, a high-density (e.g., 95% or more) PZT sintered body constituted only of PZT having a stoichiometric composition in which PbZrO3, PbTiO3, ZrO2, TiO2, PbO, and other intermediate compounds are absent, and excessive PbO can be obtained.
METHOD OF FORMING LEAD ZIRCONATE TITANATE SINTERED COMPACT LEAD ZIRCONATE TITANATE SINTERED COMPACT AND LEAD ZIRCONATE TITANATE SPUTTERING TARGET
티탄산 지르콘산납계 소결체의 제조방법, 티탄산 지르콘산납계 소결체 및 티탄산 지르콘산납계 스패터링 타겟
2017-04-05
Patent
Electronic Resource
Korean
Layered lead zirconate titanate and lanthanum-doped lead zirconate titanate ceramic thin films
British Library Online Contents | 2002
|Lead-zirconate-titanate micro-tubes
British Library Online Contents | 1995
|Methods for forming lead zirconate titanate nanoparticles
European Patent Office | 2015
|European Patent Office | 2020
|Electrodeposition of lead zirconate titanate nanotubes
British Library Online Contents | 2008
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