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OXIDE DEPOSITION MATERIAL VAPOR DEPOSITED THIN FILM AND SOLAR CELL
증착용 산화물 태블릿(산화물 증착재)과, 이것을 사용하여 제조되는 증착 박막 및 태양전지를 제공하는 것을 목적으로 하고, 상기 태블릿은 산화인듐을 주성분으로 하고 세륨을 포함하고 소결 후의 표면 연삭 가공이 되어 있지 않은 소결체에 의해 구성되어 있고, 소결체 표면으로부터 5㎛의 깊이까지의 표면층에 있어서의 세륨 함유량을 Ce/In 원자수비(Comp)로 하고 소결체 전체에 있어서의 세륨 함유량의 평균값을 Ce/In 원자수비(Comp)로 한 경우, Comp/Comp=0.9∼1.1인 것을 특징으로 한다.
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증착용 산화물 태블릿(산화물 증착재)과, 이것을 사용하여 제조되는 증착 박막 및 태양전지를 제공하는 것을 목적으로 하고, 상기 태블릿은 산화인듐을 주성분으로 하고 세륨을 포함하고 소결 후의 표면 연삭 가공이 되어 있지 않은 소결체에 의해 구성되어 있고, 소결체 표면으로부터 5㎛의 깊이까지의 표면층에 있어서의 세륨 함유량을 Ce/In 원자수비(Comp)로 하고 소결체 전체에 있어서의 세륨 함유량의 평균값을 Ce/In 원자수비(Comp)로 한 경우, Comp/Comp=0.9∼1.1인 것을 특징으로 한다.
OXIDE DEPOSITION MATERIAL VAPOR DEPOSITED THIN FILM AND SOLAR CELL
산화물 증착재와 증착 박막 및 태양전지
2017-10-26
Patent
Electronic Resource
Korean
OXIDE DEPOSITION MATERIAL VAPOR DEPOSITED THIN FILM AND SOLAR CELL
European Patent Office | 2017
|OXIDE DEPOSITION MATERIAL VAPOR DEPOSITED THIN FILM AND SOLAR CELL
European Patent Office | 2017
|OXIDE DEPOSITION MATERIAL VAPOR DEPOSITED THIN FILM AND SOLAR CELL
European Patent Office | 2017
Zinc oxide thin film synthesized by combustion chemical vapor deposition
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