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METHOD FOR MAMUFACTURING A HIGH-STRENGTH CAPILLARY FOR SEMICONDUCTOR WIRE BONDING AND CAPILLARY MAMUFACTURED THEREBY
The present invention relates to a method for manufacturing a high strength and transparent capillary for wire bonding having excellent impact resistance and abrasion resistance and a remarkably extended life since ultrasound (120KHz) transmittance is high and impurity addition is minimized by separately preparing polycrystalline alumina composite powder containing a Dy-Mg based multicomponent oxide additive (Dy2O3-MgO) and mixing, molding, and sintering prepared alumina composite powder with alumina (Al2O3) power as a main component to manufacture a high strength capillary for wire bonding.
본 발명은 Dy-Mg계의 다성분 산화물 첨가제(DyO-MgO)를 포함하는 다결정 알루미나 복합체 분말을 별도로 준비하고, 이렇게 준비된 알루미나 복합체 분말을 주성분인 알루미나(AlO) 분말과는 혼합하여 성형하고 소결하여 와이어 본딩용 고강도 캐필러리를 제조하므로써, 초음파(120kHz) 전달율이 높고 불순문 첨가가 극소화되어, 내충격성 및 내마모성이 우수하여 수명이 현저하게 연장된 와이어 본딩용 고강도 투광성 캐필러리를 제조하는 방법에 관한 발명이다.
METHOD FOR MAMUFACTURING A HIGH-STRENGTH CAPILLARY FOR SEMICONDUCTOR WIRE BONDING AND CAPILLARY MAMUFACTURED THEREBY
The present invention relates to a method for manufacturing a high strength and transparent capillary for wire bonding having excellent impact resistance and abrasion resistance and a remarkably extended life since ultrasound (120KHz) transmittance is high and impurity addition is minimized by separately preparing polycrystalline alumina composite powder containing a Dy-Mg based multicomponent oxide additive (Dy2O3-MgO) and mixing, molding, and sintering prepared alumina composite powder with alumina (Al2O3) power as a main component to manufacture a high strength capillary for wire bonding.
본 발명은 Dy-Mg계의 다성분 산화물 첨가제(DyO-MgO)를 포함하는 다결정 알루미나 복합체 분말을 별도로 준비하고, 이렇게 준비된 알루미나 복합체 분말을 주성분인 알루미나(AlO) 분말과는 혼합하여 성형하고 소결하여 와이어 본딩용 고강도 캐필러리를 제조하므로써, 초음파(120kHz) 전달율이 높고 불순문 첨가가 극소화되어, 내충격성 및 내마모성이 우수하여 수명이 현저하게 연장된 와이어 본딩용 고강도 투광성 캐필러리를 제조하는 방법에 관한 발명이다.
METHOD FOR MAMUFACTURING A HIGH-STRENGTH CAPILLARY FOR SEMICONDUCTOR WIRE BONDING AND CAPILLARY MAMUFACTURED THEREBY
고강도 와이어 본딩용 캐필러리 제조방법 및 이에 의해 제조된 본딩용 캐필러리
KIM GI BOK (author) / KIM SANG WOO (author)
2018-10-18
Patent
Electronic Resource
Korean