A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Method of fabricating the metal oxide target and multi-dielectric layer manufactured thereby
금속산화물 타겟의 제조 방법에 있어서, 제1 금속 탄산화물, 및 제2 금속 탄산화물을 포함하는 혼합 분말을 준비하는 단계, 상기 혼합 분말을 볼밀하여 입자사이즈를 감소시키는 단계, 볼밀된 상기 혼합 분말을 산소 가스 분위기에서 제1 열처리하여, 제1 금속, 및 제2 금속을 포함하는 중간 산화물을 제조하는 단계, 상기 중간 산화물을 성형하여 예비 타겟을 제조하는 단계, 및 상기 예비 타겟을 산소 가스 분위기에서 제2 열처리하여 페로브스카이트형 구조를 갖는 금속산화물 타겟을 제조하는 단계를 포함할 수 있다.
Method of fabricating the metal oxide target and multi-dielectric layer manufactured thereby
금속산화물 타겟의 제조 방법에 있어서, 제1 금속 탄산화물, 및 제2 금속 탄산화물을 포함하는 혼합 분말을 준비하는 단계, 상기 혼합 분말을 볼밀하여 입자사이즈를 감소시키는 단계, 볼밀된 상기 혼합 분말을 산소 가스 분위기에서 제1 열처리하여, 제1 금속, 및 제2 금속을 포함하는 중간 산화물을 제조하는 단계, 상기 중간 산화물을 성형하여 예비 타겟을 제조하는 단계, 및 상기 예비 타겟을 산소 가스 분위기에서 제2 열처리하여 페로브스카이트형 구조를 갖는 금속산화물 타겟을 제조하는 단계를 포함할 수 있다.
Method of fabricating the metal oxide target and multi-dielectric layer manufactured thereby
금속산화물 타겟의 제조 방법, 및 이를 이용하여 제조된 다중 유전 박막
2021-05-20
Patent
Electronic Resource
Korean
Method of fabricating the metal oxide target and multi-dielectric layer manufactured thereby
| European Patent Office | 2021
METHODS OF FABRICATING OXIDE/METAL COMPOSITES AND COMPONENTS PRODUCED THEREBY
| European Patent Office | 2022
Methods of fabricating oxide/metal composites and components produced thereby
| European Patent Office | 2022
METHODS OF FABRICATING OXIDE/METAL COMPOSITES AND COMPONENTS PRODUCED THEREBY
| European Patent Office | 2020
| European Patent Office | 2024