A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Manufacturing Method for Middle or Large-sized Ceramic Parts of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Equipment and Middle or Large-sized Ceramic Parts
The present invention relates to a method for manufacturing middle to large-sized ceramic parts for plasma enhanced chemical vapor deposition equipment and middle to large-sized ceramic parts for plasma enhanced chemical vapor deposition equipment manufactured by the same, comprising: (A) a step of designing a middle to large-sized ceramic part; (B) a step of molding a ceramic material to produce a ceramic molded body; (C) a step of thermally treating the ceramic molded body to manufacture a ceramic sintered body; and (D) a step of grinding the ceramic sintered body by using a grinder. The grinder comprises a grinder main body; a support assembly; a grinding wheel; an in-processing dressing part; and a cooling water spray part. According to the present invention, middle to large-sized ceramic parts for plasma-enhanced chemical vapor deposition equipment having desired dimensions and shapes can be easily manufactured with excellent quality, and problems such as chipping, cracking, and fracture which occur frequently during processing of workpieces can be eliminated.
본 발명은 플라즈마 강화 화학 기상증착 장비용 중대형 세라믹 부품의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 플라즈마 강화 화학 기상증착 장비용 중대형 세라믹 부품에 관한 것으로서, (A) 최종 완성하기 위한 중대형 세라믹 부품에 대해 원하는 치수 및 형상을 확보하도록 설계하는 단계; (B) 상기 설계에 기준하여 세라믹 소재를 성형하여 일정 형상 및 치수를 갖는 세라믹 성형체로 제작하는 단계; (C) 상기 세라믹 성형체를 열처리하여 세라믹 소결체로 제작하는 단계; (D) 상기 세라믹 소결체를 연마기에 장착한 후, 세라믹 소결체의 표면에 대해 연마휠을 이용하여 설계에 기준된 치수 및 형상을 갖도록 연마 가공하는 단계;를 포함하며, 상기 연마기는, 양측단부에 일정 거리를 유지한 채로 간격 배치 및 서로 마주하는 주축대와 심압대를 갖는 연마기본체; 상기 연마기본체의 주축대와 심압대에 양측단부가 고정 결합되어 수평 배치되는 것으로서 중대형 세라믹 구조물인 상기 세라믹 소결체를 피가공물로 셋팅 및 지지력을 제공하기 위한 지지조립체; 상기 지지조립체를 통해 연마기본체 상에 고정 배치 및 지지되는 세라믹 소결체의 표면을 연마 가공하기 위한 것으로서 위치이동 가능하도록 구비되고 회전운동하도록 설치되는 연마휠; 상기 연마 가공중인 연마휠 측 외주면에 융착된 세라믹 소결체의 입자찌꺼기를 제거하는 드레싱(dressing) 처리를 연마 가공중에 연속 및 자동 수행하기 위한 In-Processing Dressing부; 상기 연마휠의 연마 가공부위로 냉각수를 분사하기 위한 냉각수분사부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 원하는 치수와 형상을 갖는 플라즈마 강화 화학 기상증착 장비용 중대형 세라믹 부품을 용이하게 제작 및 우수한 품질로 제작할 수 있으며, 피가공물의 가공중에 많이 발생되던 Chipping, Crack, Fracture 등의 문제를 없앨 수 있다.
Manufacturing Method for Middle or Large-sized Ceramic Parts of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Equipment and Middle or Large-sized Ceramic Parts
The present invention relates to a method for manufacturing middle to large-sized ceramic parts for plasma enhanced chemical vapor deposition equipment and middle to large-sized ceramic parts for plasma enhanced chemical vapor deposition equipment manufactured by the same, comprising: (A) a step of designing a middle to large-sized ceramic part; (B) a step of molding a ceramic material to produce a ceramic molded body; (C) a step of thermally treating the ceramic molded body to manufacture a ceramic sintered body; and (D) a step of grinding the ceramic sintered body by using a grinder. The grinder comprises a grinder main body; a support assembly; a grinding wheel; an in-processing dressing part; and a cooling water spray part. According to the present invention, middle to large-sized ceramic parts for plasma-enhanced chemical vapor deposition equipment having desired dimensions and shapes can be easily manufactured with excellent quality, and problems such as chipping, cracking, and fracture which occur frequently during processing of workpieces can be eliminated.
본 발명은 플라즈마 강화 화학 기상증착 장비용 중대형 세라믹 부품의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 플라즈마 강화 화학 기상증착 장비용 중대형 세라믹 부품에 관한 것으로서, (A) 최종 완성하기 위한 중대형 세라믹 부품에 대해 원하는 치수 및 형상을 확보하도록 설계하는 단계; (B) 상기 설계에 기준하여 세라믹 소재를 성형하여 일정 형상 및 치수를 갖는 세라믹 성형체로 제작하는 단계; (C) 상기 세라믹 성형체를 열처리하여 세라믹 소결체로 제작하는 단계; (D) 상기 세라믹 소결체를 연마기에 장착한 후, 세라믹 소결체의 표면에 대해 연마휠을 이용하여 설계에 기준된 치수 및 형상을 갖도록 연마 가공하는 단계;를 포함하며, 상기 연마기는, 양측단부에 일정 거리를 유지한 채로 간격 배치 및 서로 마주하는 주축대와 심압대를 갖는 연마기본체; 상기 연마기본체의 주축대와 심압대에 양측단부가 고정 결합되어 수평 배치되는 것으로서 중대형 세라믹 구조물인 상기 세라믹 소결체를 피가공물로 셋팅 및 지지력을 제공하기 위한 지지조립체; 상기 지지조립체를 통해 연마기본체 상에 고정 배치 및 지지되는 세라믹 소결체의 표면을 연마 가공하기 위한 것으로서 위치이동 가능하도록 구비되고 회전운동하도록 설치되는 연마휠; 상기 연마 가공중인 연마휠 측 외주면에 융착된 세라믹 소결체의 입자찌꺼기를 제거하는 드레싱(dressing) 처리를 연마 가공중에 연속 및 자동 수행하기 위한 In-Processing Dressing부; 상기 연마휠의 연마 가공부위로 냉각수를 분사하기 위한 냉각수분사부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 원하는 치수와 형상을 갖는 플라즈마 강화 화학 기상증착 장비용 중대형 세라믹 부품을 용이하게 제작 및 우수한 품질로 제작할 수 있으며, 피가공물의 가공중에 많이 발생되던 Chipping, Crack, Fracture 등의 문제를 없앨 수 있다.
Manufacturing Method for Middle or Large-sized Ceramic Parts of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Equipment and Middle or Large-sized Ceramic Parts
플라즈마 강화 화학 기상증착 장비용 중대형 세라믹 부품의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 플라즈마 강화 화학 기상증착 장비용 중대형 세라믹 부품
2021-11-03
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
B28B
Formgeben von Ton oder anderen keramischen Stoffzusammensetzungen, Schlacke oder von Mischungen, die zementartiges Material enthalten, z.B. Putzmörtel
,
SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG OR MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
/
B24B
MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
,
Maschinen, Einrichtungen oder Verfahren zum Schleifen oder Polieren
/
C04B
Kalk
,
LIME