A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET CYLINDRICAL COMPACT MANUFACTURING METHOD OF CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD OF CYLINDRICAL SINTERED COMPACT AND MANUFACTURING METHOD OF CYLINDRICAL COMPACT
본 발명은, 변형이 적고 강도가 높은 원통형 스퍼터링 타겟, 원통형 소결체, 원통형 성형체 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또는, 균질성이 높은 원통형 스퍼터링 타겟, 원통형 소결체, 원통형 성형체 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 일 실시 형태에 의한 스퍼터링 타겟은, 원통형 소결체를 갖고, 원통형 소결체의 상대 밀도는 99.7% 이상 99.9% 이하이다. 또한, 원통형 스퍼터링 타겟은, 일정한 스페이스를 개입시켜 인접하는 복수의 원통형 소결체를 갖고, 인접하는 복수의 원통형 소결체 간의 상대 밀도의 차이는 0.1% 이하일 수 있다.
A cylindrical sputtering target includes a plurality of cylindrical sintered compacts adjacent to each other while having a space therebetween. The plurality of cylindrical sintered compacts have a relative density of 99.7% or higher and 99.9% or lower. The plurality of cylindrical sintered compacts adjacent to each other have a difference therebetween in the relative density of 0.1% or smaller.
CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET CYLINDRICAL COMPACT MANUFACTURING METHOD OF CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD OF CYLINDRICAL SINTERED COMPACT AND MANUFACTURING METHOD OF CYLINDRICAL COMPACT
본 발명은, 변형이 적고 강도가 높은 원통형 스퍼터링 타겟, 원통형 소결체, 원통형 성형체 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또는, 균질성이 높은 원통형 스퍼터링 타겟, 원통형 소결체, 원통형 성형체 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 일 실시 형태에 의한 스퍼터링 타겟은, 원통형 소결체를 갖고, 원통형 소결체의 상대 밀도는 99.7% 이상 99.9% 이하이다. 또한, 원통형 스퍼터링 타겟은, 일정한 스페이스를 개입시켜 인접하는 복수의 원통형 소결체를 갖고, 인접하는 복수의 원통형 소결체 간의 상대 밀도의 차이는 0.1% 이하일 수 있다.
A cylindrical sputtering target includes a plurality of cylindrical sintered compacts adjacent to each other while having a space therebetween. The plurality of cylindrical sintered compacts have a relative density of 99.7% or higher and 99.9% or lower. The plurality of cylindrical sintered compacts adjacent to each other have a difference therebetween in the relative density of 0.1% or smaller.
CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET CYLINDRICAL COMPACT MANUFACTURING METHOD OF CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET MANUFACTURING METHOD OF CYLINDRICAL SINTERED COMPACT AND MANUFACTURING METHOD OF CYLINDRICAL COMPACT
원통형 스퍼터링 타겟, 원통형 성형체, 및 원통형 스퍼터링 타겟, 원통형 소결체, 및 원통형 성형체의 제조 방법
2021-12-08
Patent
Electronic Resource
Korean
| European Patent Office | 2017
| European Patent Office | 2016