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Conductive Titanium Dioxide Sintered Body And Its Manufacturing Method Using Cold Isostatic Pressing Multi layer Molding Method
The present invention provides a conductive titanium dioxide sintered body and a manufacturing method thereof, wherein the conductive titanium dioxide sintered body is manufactured by: mixing anatase-phase titanium dioxide powder and rutile-phase titanium dioxide powder at an optimal ratio; molding the mixture by a cold isostatic pressing multi-stage molding method; and processing the molded mixture under optimal sintering conditions and heat treatment condition, so that the sintered body has a relative sintered density of 97 to 97.5 % relative to the theoretical density of rutile titanium dioxide, which is a high-temperature stable phase, has strength without no decrease by optimizing pore formation even though the average particle size of titanium dioxide has sufficiently grown to 20㎛ due to sintering, and has a low volume resistance of 0.9 to 1.1 ω·cm, thereby manufacturing parts for manufacturing conductive semiconductors without the risk of generating static electricity.
본 발명 도전성 이산화티타늄 소결체 및 이의 제조방법은 아나타제상 이산화티타늄 분말과 루타일상 이산화티타늄 분말을 최적의 비율로 혼합하고 이를 냉간정수압 다단 성형법으로 성형한 후 최적의 소결조건 및 열처리 조건으로 도전성 이산화티타늄 소결체를 제조하므로 고온 안정상인 루타일상 이산화티타늄의 이론밀도 대비 97 내지 97.5%의 상대소결밀도를 가지며 소결로 인해 이산화티타늄의 평균입자크기가 20㎛으로 충분히 성장하였음에도 기공 형성이 최적화되어 강도 저하가 없고 0.9 내지 1.1 Ω·㎝의 낮은 체적저항을 가져 정전기 발생 우려가 없는 도전성 반도체 제조용 부품을 제조할 수 있는 장점이 있다.
Conductive Titanium Dioxide Sintered Body And Its Manufacturing Method Using Cold Isostatic Pressing Multi layer Molding Method
The present invention provides a conductive titanium dioxide sintered body and a manufacturing method thereof, wherein the conductive titanium dioxide sintered body is manufactured by: mixing anatase-phase titanium dioxide powder and rutile-phase titanium dioxide powder at an optimal ratio; molding the mixture by a cold isostatic pressing multi-stage molding method; and processing the molded mixture under optimal sintering conditions and heat treatment condition, so that the sintered body has a relative sintered density of 97 to 97.5 % relative to the theoretical density of rutile titanium dioxide, which is a high-temperature stable phase, has strength without no decrease by optimizing pore formation even though the average particle size of titanium dioxide has sufficiently grown to 20㎛ due to sintering, and has a low volume resistance of 0.9 to 1.1 ω·cm, thereby manufacturing parts for manufacturing conductive semiconductors without the risk of generating static electricity.
본 발명 도전성 이산화티타늄 소결체 및 이의 제조방법은 아나타제상 이산화티타늄 분말과 루타일상 이산화티타늄 분말을 최적의 비율로 혼합하고 이를 냉간정수압 다단 성형법으로 성형한 후 최적의 소결조건 및 열처리 조건으로 도전성 이산화티타늄 소결체를 제조하므로 고온 안정상인 루타일상 이산화티타늄의 이론밀도 대비 97 내지 97.5%의 상대소결밀도를 가지며 소결로 인해 이산화티타늄의 평균입자크기가 20㎛으로 충분히 성장하였음에도 기공 형성이 최적화되어 강도 저하가 없고 0.9 내지 1.1 Ω·㎝의 낮은 체적저항을 가져 정전기 발생 우려가 없는 도전성 반도체 제조용 부품을 제조할 수 있는 장점이 있다.
Conductive Titanium Dioxide Sintered Body And Its Manufacturing Method Using Cold Isostatic Pressing Multi layer Molding Method
냉간정수압 다단 성형법을 이용하여 제조한 도전성 이산화티타늄 소결체 및 이의 제조방법
LEE SANG JIN (author)
2023-02-07
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
European Patent Office | 2022
|European Patent Office | 2022
|Modification of Sintered Titanium Alloys by Hot Isostatic Pressing
British Library Online Contents | 2012
|Rubber isostatic pressing and cold isostatic pressing of metal powder
British Library Online Contents | 2004
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European Patent Office | 2021
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