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Method for manufacturing multilayered ceramic devices capable of co-firing and multilayered ceramic device manufactured therefrom
본 발명은 동시 소성이 가능한 적층형 세라믹 소자의 제조방법 및 이로부터 제조되는 적층형 세라믹 소자에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 바인더에 니켈(Ni) 분말을 혼합하여 전극 페이스트를 제조하는 제1단계; 전극 페이스트를 PZT계 세라믹 기판에 도포하여 세라믹 시트를 제조하고, 세라믹 시트를 다수 개 적층하여 세라믹 적층체를 제조하는 제2단계; 세라믹 적층체를 대기 분위기에서 열처리하여 전극 페이스트의 니켈이 산화되면서 형성되는 니켈 산화물로 이루어진 1차전극이 형성된 세라믹 소결체를 제조하는 제3단계; 세라믹 소결체를 수소 함유 분위기에서 열처리하여 1차전극의 니켈 산화물이 니켈 금속으로 환원됨과 동시에 물이 생성되고, 물이 기화되면서 환원된 니켈 금속이 나노포러스 구조를 갖는 2차전극을 형성하는 제4단계;를 포함하여 이루어지고, 제3단계는, 전극 페이스트와 PZT계 세라믹이 동시에 소성되어 니켈이 산화되면서 PZT계 세라믹 기판으로 확산되지 않는 것을 특징으로 하는 동시 소성이 가능한 적층형 세라믹 소자의 제조방법 및 이로부터 제조되는 적층형 세라믹 소자를 기술적 요지로 한다.
The present invention relates to a method for manufacturing a multilayered ceramic device capable of co-firing and a multilayered ceramic device manufactured therefrom. As such, in accordance with the present invention, the method for manufacturing the multilayered ceramic device capable of co-firing comprises: a first step of mixing a binder with nickel (Ni) powder, and manufacturing an electrode paste; a second step of spreading the electrode paste on a PZT-based ceramic substrate, manufacturing a ceramic sheet, laminating a large number of ceramic sheets, and manufacturing a ceramic laminated body; a third step of performing a heat treatment on the ceramic laminated body in an atmospheric environment, and manufacturing a ceramic sintered body with a first electrode made of nickel oxides formed as nickel of the electrode paste is oxidized; and a fourth step of performing a heat treatment on the ceramic sintered body in a hydrogen-containing environment, generating water as reducing the nickel oxides of the first electrode into a nickel metal at the same time, and forming a second electrode in which the reduced nickel metal has a nanoporous structure as the water is vaporized. In the third step, the electrode paste and the PZT-based ceramic are co-fired at the same time, and as nickel is oxidized, the nickel is not spread to the PZT-based ceramic substrate.
Method for manufacturing multilayered ceramic devices capable of co-firing and multilayered ceramic device manufactured therefrom
본 발명은 동시 소성이 가능한 적층형 세라믹 소자의 제조방법 및 이로부터 제조되는 적층형 세라믹 소자에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 바인더에 니켈(Ni) 분말을 혼합하여 전극 페이스트를 제조하는 제1단계; 전극 페이스트를 PZT계 세라믹 기판에 도포하여 세라믹 시트를 제조하고, 세라믹 시트를 다수 개 적층하여 세라믹 적층체를 제조하는 제2단계; 세라믹 적층체를 대기 분위기에서 열처리하여 전극 페이스트의 니켈이 산화되면서 형성되는 니켈 산화물로 이루어진 1차전극이 형성된 세라믹 소결체를 제조하는 제3단계; 세라믹 소결체를 수소 함유 분위기에서 열처리하여 1차전극의 니켈 산화물이 니켈 금속으로 환원됨과 동시에 물이 생성되고, 물이 기화되면서 환원된 니켈 금속이 나노포러스 구조를 갖는 2차전극을 형성하는 제4단계;를 포함하여 이루어지고, 제3단계는, 전극 페이스트와 PZT계 세라믹이 동시에 소성되어 니켈이 산화되면서 PZT계 세라믹 기판으로 확산되지 않는 것을 특징으로 하는 동시 소성이 가능한 적층형 세라믹 소자의 제조방법 및 이로부터 제조되는 적층형 세라믹 소자를 기술적 요지로 한다.
The present invention relates to a method for manufacturing a multilayered ceramic device capable of co-firing and a multilayered ceramic device manufactured therefrom. As such, in accordance with the present invention, the method for manufacturing the multilayered ceramic device capable of co-firing comprises: a first step of mixing a binder with nickel (Ni) powder, and manufacturing an electrode paste; a second step of spreading the electrode paste on a PZT-based ceramic substrate, manufacturing a ceramic sheet, laminating a large number of ceramic sheets, and manufacturing a ceramic laminated body; a third step of performing a heat treatment on the ceramic laminated body in an atmospheric environment, and manufacturing a ceramic sintered body with a first electrode made of nickel oxides formed as nickel of the electrode paste is oxidized; and a fourth step of performing a heat treatment on the ceramic sintered body in a hydrogen-containing environment, generating water as reducing the nickel oxides of the first electrode into a nickel metal at the same time, and forming a second electrode in which the reduced nickel metal has a nanoporous structure as the water is vaporized. In the third step, the electrode paste and the PZT-based ceramic are co-fired at the same time, and as nickel is oxidized, the nickel is not spread to the PZT-based ceramic substrate.
Method for manufacturing multilayered ceramic devices capable of co-firing and multilayered ceramic device manufactured therefrom
동시 소성이 가능한 적층형 세라믹 소자의 제조방법 및 이로부터 제조되는 적층형 세라믹 소자
2023-04-05
Patent
Electronic Resource
Korean
European Patent Office | 2021
|European Patent Office | 2022
|MULTILAYERED CERAMIC COMPONENT AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
European Patent Office | 2016
Ceramic Paste Composition and Manufacturing Method of Multilayered Ceramic Capacitor
European Patent Office | 2017
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