A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC MATERIAL AND SPUTTERING-TARGET MEMBER
본 발명의 세라믹스 재료는, 마그네슘, 지르코늄, 리튬 및 산소를 주성분으로 하는 세라믹스 재료로서, 산화마그네슘에 산화지르코늄 및 산화리튬이 고용(固溶)된 고용체의 결정상을 주상(主相)으로 하는 것이다. 이 고용체는, CuKα선을 이용했을 때의 (200)면의 XRD 피크가 산화마그네슘의 입방정(立方晶)의 피크보다 작은 2θ=42.89° 이하에 나타나는 것이 바람직하고, 2θ=42.38°∼42.89°에 나타나는 것이 보다 바람직하며, 2θ=42.82°∼42.89°에 나타나는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 세라믹스 재료는 Li와 Zr의 몰비 Li/Zr이 1.96 이상 2.33 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다.
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본 발명의 세라믹스 재료는, 마그네슘, 지르코늄, 리튬 및 산소를 주성분으로 하는 세라믹스 재료로서, 산화마그네슘에 산화지르코늄 및 산화리튬이 고용(固溶)된 고용체의 결정상을 주상(主相)으로 하는 것이다. 이 고용체는, CuKα선을 이용했을 때의 (200)면의 XRD 피크가 산화마그네슘의 입방정(立方晶)의 피크보다 작은 2θ=42.89° 이하에 나타나는 것이 바람직하고, 2θ=42.38°∼42.89°에 나타나는 것이 보다 바람직하며, 2θ=42.82°∼42.89°에 나타나는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 세라믹스 재료는 Li와 Zr의 몰비 Li/Zr이 1.96 이상 2.33 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다.
CERAMIC MATERIAL AND SPUTTERING-TARGET MEMBER
세라믹스 재료 및 스퍼터링 타겟 부재
SATO YOSUKE (author) / ISODA YOSHINORI (author) / KATSUDA YUJI (author)
2015-07-08
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
G11B
Informationsspeicherung mit Relativbewegung zwischen Aufzeichnungsträger und Wandler
,
INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES