A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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SIALON SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME COMPOSITE SUBSTRATE AND ELECTRONIC DEVICE
A sialon sintered body of the present invention is represented by Si_(6-z)Al_zO_zN_(8-z) (0
본 발명의 사이알론 소결체는, SiAlON(0＜z≤4.2)로 나타내고, 개기공률이 0.1％ 이하, 상대 밀도가 99.9％ 이상, 또한, X선 회절도에 있어서, 사이알론의 최대 피크의 강도에 대한, 사이알론 이외의 각 성분의 최대 피크의 강도의 총합의 비가 0.005 이하인 것이다.
SIALON SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME COMPOSITE SUBSTRATE AND ELECTRONIC DEVICE
A sialon sintered body of the present invention is represented by Si_(6-z)Al_zO_zN_(8-z) (0
본 발명의 사이알론 소결체는, SiAlON(0＜z≤4.2)로 나타내고, 개기공률이 0.1％ 이하, 상대 밀도가 99.9％ 이상, 또한, X선 회절도에 있어서, 사이알론의 최대 피크의 강도에 대한, 사이알론 이외의 각 성분의 최대 피크의 강도의 총합의 비가 0.005 이하인 것이다.
SIALON SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME COMPOSITE SUBSTRATE AND ELECTRONIC DEVICE
사이알론 소결체, 그 제조법, 복합 기판 및 전자 디바이스
NOMOTO YUKI (author) / INOUE KATSUHIRO (author) / TANAKA KEI (author) / KATSUDA YUJI (author)
2018-03-28
Patent
Electronic Resource
Korean
SIALON SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME COMPOSITE SUBSTRATE AND ELECTRONIC DEVICE
European Patent Office | 2022
SIALON SINTERED BODY, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, COMPOSITE SUBSTRATE, AND ELECTRONIC DEVICE
| European Patent Office | 2018
Sialon sintered body, method for producing the same, composite substrate, and electronic device
| European Patent Office | 2019
SIALON SINTERED BODY, PRODUCTION METHOD THEREFOR, COMPOSITE SUBSTRATE, AND ELECTRONIC DEVICE
| European Patent Office | 2018