A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Wafer etching shower head manufacturing method
본 발명은 a)원기둥 형태의 잉곳을 준비하는 단계와, b)상기 잉곳을 해당 길이단위의 모재로 크로핑하는 단계와, c)해당 길이단위로 크로핑된 모재를 해당 두께의 모재원판으로 슬라이싱하는 단계와, d)해당 두께로 슬라이싱된 모재원판의 표면 가공하는 단계와, e)표면이 가공된 모재원판 상에 전극을 해당 위치에 배치한 후, 상기 모재원판과 전극 사이에 전기방전을 일으켜 드릴링하는 방전가공으로 다수의 미세홀을 형성하는 단계, 및 f)다수의 미세홀이 형성된 모재원판을 세척하는 단계를 포함하여, 저저항을 갖도록 해당 두께로 슬라이싱된 모재원판의 표면 가공하고, 표면이 가공된 모재원판 상에 전극을 해당 위치에 배치한 후, 전기방전을 일으켜 드릴링하는 방전가공으로 다수의 미세홀을 형성하는 것으로, 웨이퍼 에칭용 샤워헤드를 제조하는 웨이퍼 에칭 샤워헤드 제조방법을 제공한다.
Wafer etching shower head manufacturing method
본 발명은 a)원기둥 형태의 잉곳을 준비하는 단계와, b)상기 잉곳을 해당 길이단위의 모재로 크로핑하는 단계와, c)해당 길이단위로 크로핑된 모재를 해당 두께의 모재원판으로 슬라이싱하는 단계와, d)해당 두께로 슬라이싱된 모재원판의 표면 가공하는 단계와, e)표면이 가공된 모재원판 상에 전극을 해당 위치에 배치한 후, 상기 모재원판과 전극 사이에 전기방전을 일으켜 드릴링하는 방전가공으로 다수의 미세홀을 형성하는 단계, 및 f)다수의 미세홀이 형성된 모재원판을 세척하는 단계를 포함하여, 저저항을 갖도록 해당 두께로 슬라이싱된 모재원판의 표면 가공하고, 표면이 가공된 모재원판 상에 전극을 해당 위치에 배치한 후, 전기방전을 일으켜 드릴링하는 방전가공으로 다수의 미세홀을 형성하는 것으로, 웨이퍼 에칭용 샤워헤드를 제조하는 웨이퍼 에칭 샤워헤드 제조방법을 제공한다.
Wafer etching shower head manufacturing method
웨이퍼 에칭 샤워헤드 제조방법
AN JEONG WON (author)
2022-02-04
Patent
Electronic Resource
Korean
Shower head sliding seat, shower head support and shower head assembly
| European Patent Office | 2024