A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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DENSIFICATION METHOD OF PLASMA RESISTANT COATING LAYER USING LASER SINTERING
According to one aspect of the present invention, provided is a plasma-resistant coating film densification method comprising (a) a step of preparing a base material on which a coating film of yttrium oxide (Y_2O_3), yttrium fluoride (YF_3), or yttrium fluoride (YOF) is formed and (b) a step of laser sintering the yttrium oxide (Y_2O_3) by immersing the base material in deionized water, or a plasma-resistant coating film densification method comprising (a) a step of forming yttrium oxide (Y_2O_3) on the surface of a base material supported in a solution containing a yttrium compound and (b) a step of adding an F-ion-containing material to the solution and laser sintering the yttrium oxide (Y_2O_3). An object of the present invention is to provide a method for forming a densified plasma-resistant coating film having excellent plasma-resistance properties.
본 발명의 일 관점에 따르면, (a) 표면에 이트륨 옥사이드(Y2O3), 불화이트륨(YF3) 또는 불산화이트륨(YOF) 코팅막이 형성된 모재를 준비하는 단계 및 (b) 상기 모재를 탈이온수에 담지하여 상기 이트륨 옥사이드(Y2O3)를 레이저 소결하는 단계를 포함하는 내플라즈마 코팅막 치밀화 방법, 또는 (a) 이트륨 화합물을 함유하는 용액 내에 담지된 모재 표면에 이트륨 옥사이드(Y2O3)를 형성하는 단계 및 (b) 상기 용액에 F- 이온 함유 물질을 첨가하고, 상기 이트륨 옥사이드(Y2O3)를 레이저 소결하는 단계를 포함하는 내플라즈마 코팅막 치밀화 방법이 제공된다.
DENSIFICATION METHOD OF PLASMA RESISTANT COATING LAYER USING LASER SINTERING
According to one aspect of the present invention, provided is a plasma-resistant coating film densification method comprising (a) a step of preparing a base material on which a coating film of yttrium oxide (Y_2O_3), yttrium fluoride (YF_3), or yttrium fluoride (YOF) is formed and (b) a step of laser sintering the yttrium oxide (Y_2O_3) by immersing the base material in deionized water, or a plasma-resistant coating film densification method comprising (a) a step of forming yttrium oxide (Y_2O_3) on the surface of a base material supported in a solution containing a yttrium compound and (b) a step of adding an F-ion-containing material to the solution and laser sintering the yttrium oxide (Y_2O_3). An object of the present invention is to provide a method for forming a densified plasma-resistant coating film having excellent plasma-resistance properties.
본 발명의 일 관점에 따르면, (a) 표면에 이트륨 옥사이드(Y2O3), 불화이트륨(YF3) 또는 불산화이트륨(YOF) 코팅막이 형성된 모재를 준비하는 단계 및 (b) 상기 모재를 탈이온수에 담지하여 상기 이트륨 옥사이드(Y2O3)를 레이저 소결하는 단계를 포함하는 내플라즈마 코팅막 치밀화 방법, 또는 (a) 이트륨 화합물을 함유하는 용액 내에 담지된 모재 표면에 이트륨 옥사이드(Y2O3)를 형성하는 단계 및 (b) 상기 용액에 F- 이온 함유 물질을 첨가하고, 상기 이트륨 옥사이드(Y2O3)를 레이저 소결하는 단계를 포함하는 내플라즈마 코팅막 치밀화 방법이 제공된다.
DENSIFICATION METHOD OF PLASMA RESISTANT COATING LAYER USING LASER SINTERING
레이저 소결을 이용한 내플라즈마 코팅막 치밀화 방법
JEON HO JEONG (author) / PARK JAE HO (author) / LEE WON RYUNG (author) / HAN HYUNG SEOP (author) / OK MYOUNG RYUL (author) / KIM YU CHAN (author) / SEOK HYUN KWANG (author)
2022-04-01
Patent
Electronic Resource
Korean
DENSIFICATION METHOD OF PLASMA RESISTANT COATING LAYER USING LASER SINTERING
European Patent Office | 2023
Densification of ATO Nanoceramics by Spark Plasma Sintering
| British Library Online Contents | 2012
Densification of Al~2O~3 powder using spark plasma sintering
| British Library Online Contents | 2000
Densification of nanocrystalline NiO ceramics by spark plasma sintering
| British Library Online Contents | 2010
Densification Behavior of Calcium Phosphates on Spark Plasma Sintering
| British Library Online Contents | 2006