A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
Provided are alumina ceramics with a small secondary electron emission coefficient capable of being suitable as a member of a high frequency generating device and a plasma generating device. The alumina ceramics contains alumina as a main component, and contains at least two kinds among elements belonging to alkaline earth metals, a third period, a fourth period, or a fifth period. The elements belonging to the alkaline earth metals, the third period, the fourth period, or the fifth period have greater first ionization energy than aluminum. A difference in electronegativity of the elements belonging to the alkaline earth metals, the third period, the fourth period, or the fifth period is 0 or more and 0.6 or less. A ratio (x/y) of an area (x) of a grain boundary for an area (y) of a crystal grain in the alumina ceramics is 0.0001-0.001.
2차 전자 방출 계수가 작고, 고주파 발생 장치 및 플라즈마 생성 장치 등의 부재로서 적합한 알루미나 세라믹스를 제공한다. 상기 알루미나 세라믹스는, 알루미나를 주성분으로 하고, 알칼리 토류금속과, 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소 중 적어도 2 종류의 원소를 함유하고, 상기 알칼리 토류금속과, 상기 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소가 모두 알루미늄보다 큰 제1 이온화 에너지를 갖고, 상기 알칼리 토류금속과, 상기 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소의 전기 음성도의 차가 0 이상 0.6 이하이고, 알루미나 세라믹스 중의 결정립의 면적(y)에 대한 결정립계의 면적(x)의 비(x/y)가 0.0001 ~ 0.001 이다.
Provided are alumina ceramics with a small secondary electron emission coefficient capable of being suitable as a member of a high frequency generating device and a plasma generating device. The alumina ceramics contains alumina as a main component, and contains at least two kinds among elements belonging to alkaline earth metals, a third period, a fourth period, or a fifth period. The elements belonging to the alkaline earth metals, the third period, the fourth period, or the fifth period have greater first ionization energy than aluminum. A difference in electronegativity of the elements belonging to the alkaline earth metals, the third period, the fourth period, or the fifth period is 0 or more and 0.6 or less. A ratio (x/y) of an area (x) of a grain boundary for an area (y) of a crystal grain in the alumina ceramics is 0.0001-0.001.
2차 전자 방출 계수가 작고, 고주파 발생 장치 및 플라즈마 생성 장치 등의 부재로서 적합한 알루미나 세라믹스를 제공한다. 상기 알루미나 세라믹스는, 알루미나를 주성분으로 하고, 알칼리 토류금속과, 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소 중 적어도 2 종류의 원소를 함유하고, 상기 알칼리 토류금속과, 상기 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소가 모두 알루미늄보다 큰 제1 이온화 에너지를 갖고, 상기 알칼리 토류금속과, 상기 제3 주기, 제4 주기 또는 제5 주기에 속하는 원소의 전기 음성도의 차가 0 이상 0.6 이하이고, 알루미나 세라믹스 중의 결정립의 면적(y)에 대한 결정립계의 면적(x)의 비(x/y)가 0.0001 ~ 0.001 이다.
ALUMINA CERAMIC
알루미나 세라믹스
FUKASAWA YUJI (author)
2022-04-05
Patent
Electronic Resource
Korean
ALUMINA CERAMIC AND MANUFACTURING METHOD OF ALUMINA CERAMIC
| European Patent Office | 2023