A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Hinge assembly and substrate processing apparatus having the same
본 발명은 힌지조립체 및 이를 포함하는 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리장치 개폐를 위한 도어용 힌지조립체 및 이를 포함하는 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명은, 공정챔버(10) 개구를 개폐하는 개폐도어(20)의 힌지회전을 위한 힌지조립체로서, 상기 개폐도어(20)의 힌지회전을 위한 회전축을 형성하는 힌지샤프트(100)와; 상기 개폐도어(20)에 결합하며 상기 힌지샤프트(100) 상측 단부에 설치되는 제1힌지부재(200)와; 상기 공정챔버(10)에 결합하며, 상기 힌지샤프트(100) 하측 단부에 설치되어 상기 제1힌지부재(200)를 지지하는 제2힌지부재(300)를 포함하며, 상기 제1힌지부재(200) 및 상기 제2힌지부재(300) 중 적어도 하나는 상기 힌지샤프트(100)를 기준으로 분리가능한 힌지조립체를 개시한다.
Hinge assembly and substrate processing apparatus having the same
본 발명은 힌지조립체 및 이를 포함하는 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판처리장치 개폐를 위한 도어용 힌지조립체 및 이를 포함하는 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명은, 공정챔버(10) 개구를 개폐하는 개폐도어(20)의 힌지회전을 위한 힌지조립체로서, 상기 개폐도어(20)의 힌지회전을 위한 회전축을 형성하는 힌지샤프트(100)와; 상기 개폐도어(20)에 결합하며 상기 힌지샤프트(100) 상측 단부에 설치되는 제1힌지부재(200)와; 상기 공정챔버(10)에 결합하며, 상기 힌지샤프트(100) 하측 단부에 설치되어 상기 제1힌지부재(200)를 지지하는 제2힌지부재(300)를 포함하며, 상기 제1힌지부재(200) 및 상기 제2힌지부재(300) 중 적어도 하나는 상기 힌지샤프트(100)를 기준으로 분리가능한 힌지조립체를 개시한다.
Hinge assembly and substrate processing apparatus having the same
힌지조립체 및 이를 포함하는 기판처리장치
JUNG JAE HOON (author) / JEON DONG YUN (author)
2024-03-14
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
E05D
Scharniere oder andere Aufhängevorrichtungen für Türen, Fenster oder Flügel
,
HINGES OR OTHER SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS, OR WINGS
HINGE ASSEMBLY HAVING SLIDING SHEET, AND REFRIGERATION APPARATUS HAVING HINGE ASSEMBLY
| European Patent Office | 2023
HINGE ASSEMBLY WITH CAVITY, AND REFRIGERATION APPARATUS HAVING HINGE ASSEMBLY
| European Patent Office | 2022
HINGE ASSEMBLY AND IMAGE FORMING APPARATUS HAVING THE SAME
| European Patent Office | 2022
Hinge assembly and image forming apparatus having the same
| European Patent Office | 2017