A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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rack STEP LADDER WITH COMPONENT RACK SYSTEM FOR FABRICATION FACILITY
제조 설비에서 모듈의 측 표면으로 연결하는 마운팅 플레이트; 계단형 사다리로서, 제 1 조인트에서 마운팅 플레이트로 연결하는 암을 갖는 사다리 프레임으로서, 계단형 사다리는 하강된 위치와 상승된 위치 사이에서 제 1 조인트를 중심으로 회전하고, 하강된 위치는 제조 설비의 바닥에 계단형 사다리를 놓는 것에 의해 규정되며, 상승된 위치는 바닥에서 떨어지고 실질적으로 모듈 위인 계단형 사다리의 매달림에 의해 규정되는, 사다리 프레임; 사다리 프레임에 연결된 복수의 계단 플레이트들로서, 계단 플레이트들은 계단형 사다리가 하강된 위치에 있을 때 사용자를 위한 계단 표면들을 구획하는, 계단 플레이트들을 포함하는, 계단형 사다리를 포함하는 사다리 어셈블리가 제공된다. 슬리브가 제조 설비에서 사용되는 전자 장비를 하우징하도록, 계단형 사다리의 계단 플레이트들 중 하나 아래로 연장한다.
A cluster tool system, including: a load lock; a first wafer transfer module; a buffer module; a second wafer transfer module; wherein the load lock, the first wafer transfer module, the buffer module, and the second wafer transfer module are positioned in a linear arrangement; a first process module connected to the first wafer transfer module on a first side of the linear arrangement; a second process module connected to the second wafer transfer module on the first side; a third process module connected to the first wafer transfer module on a second side of the linear arrangement that is opposite the first side; a fourth process module connected to the second wafer transfer module on the second side; a first ladder assembly connected to the buffer module on the first side; a second ladder assembly connected to the buffer module on the second side.
rack STEP LADDER WITH COMPONENT RACK SYSTEM FOR FABRICATION FACILITY
제조 설비에서 모듈의 측 표면으로 연결하는 마운팅 플레이트; 계단형 사다리로서, 제 1 조인트에서 마운팅 플레이트로 연결하는 암을 갖는 사다리 프레임으로서, 계단형 사다리는 하강된 위치와 상승된 위치 사이에서 제 1 조인트를 중심으로 회전하고, 하강된 위치는 제조 설비의 바닥에 계단형 사다리를 놓는 것에 의해 규정되며, 상승된 위치는 바닥에서 떨어지고 실질적으로 모듈 위인 계단형 사다리의 매달림에 의해 규정되는, 사다리 프레임; 사다리 프레임에 연결된 복수의 계단 플레이트들로서, 계단 플레이트들은 계단형 사다리가 하강된 위치에 있을 때 사용자를 위한 계단 표면들을 구획하는, 계단 플레이트들을 포함하는, 계단형 사다리를 포함하는 사다리 어셈블리가 제공된다. 슬리브가 제조 설비에서 사용되는 전자 장비를 하우징하도록, 계단형 사다리의 계단 플레이트들 중 하나 아래로 연장한다.
A cluster tool system, including: a load lock; a first wafer transfer module; a buffer module; a second wafer transfer module; wherein the load lock, the first wafer transfer module, the buffer module, and the second wafer transfer module are positioned in a linear arrangement; a first process module connected to the first wafer transfer module on a first side of the linear arrangement; a second process module connected to the second wafer transfer module on the first side; a third process module connected to the first wafer transfer module on a second side of the linear arrangement that is opposite the first side; a fourth process module connected to the second wafer transfer module on the second side; a first ladder assembly connected to the buffer module on the first side; a second ladder assembly connected to the buffer module on the second side.
rack STEP LADDER WITH COMPONENT RACK SYSTEM FOR FABRICATION FACILITY
제조 설비를 위한 컴포넌트 랙 (rack) 시스템이 있는 계단형 사다리
VASQUEZ MIGUEL BENJAMIN (author) / SLEVIN DAMIEN (author)
2024-07-04
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
E06C
LADDERS
,
Leitern
Step ladder with component rack system for fabrication facility
| European Patent Office | 2019
STEP LADDER WITH COMPONENT RACK SYSTEM FOR FABRICATION FACILITY
| European Patent Office | 2019
STEP LADDER WITH COMPONENT RACK SYSTEM FOR FABRICATION FACILITY
| European Patent Office | 2019