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Probe apparatus having shutter type door
도어의 가동 범위 공간을 절약할 수 있는 자동으로 작동되는 셔터 방식의 도어를 구비한 프로브 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 셔터 방식의 도어를 구비한 프로브 장치는, 전면 또는 상부면에 개방 또는 폐쇄될 수 있는 개구가 형성된 스테이지 챔버; 상기 개구의 내측면을 따라 이동하면서 상기 개구를 개방 또는 폐쇄하고, 복수개의 슬래트가 연결되어 이루어진 셔터 어셈블리; 및 상기 셔터 어셈블리를 구동 모터의 구동력으로 이동시켜 상기 스테이지 챔버의 개구를 개방 또는 폐쇄시키는 구동부;를 포함할 수 있다.
Probe apparatus having shutter type door
도어의 가동 범위 공간을 절약할 수 있는 자동으로 작동되는 셔터 방식의 도어를 구비한 프로브 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 셔터 방식의 도어를 구비한 프로브 장치는, 전면 또는 상부면에 개방 또는 폐쇄될 수 있는 개구가 형성된 스테이지 챔버; 상기 개구의 내측면을 따라 이동하면서 상기 개구를 개방 또는 폐쇄하고, 복수개의 슬래트가 연결되어 이루어진 셔터 어셈블리; 및 상기 셔터 어셈블리를 구동 모터의 구동력으로 이동시켜 상기 스테이지 챔버의 개구를 개방 또는 폐쇄시키는 구동부;를 포함할 수 있다.
Probe apparatus having shutter type door
셔터 방식의 도어를 구비한 프로브 장치
2025-03-07
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
E06B
Feste oder bewegliche Abschlüsse für Öffnungen in Bauwerken, Fahrzeugen, Zäunen oder ähnlichen Einfriedungen allgemein, z.B. Türen, Fenster, Läden, Tore
,
FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES, OR LIKE ENCLOSURES, IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
/
E05F
DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION
,
Vorrichtungen zum Bewegen der Flügel in die Offen- oder Schließstellung
/
G01R
Messen elektrischer Größen
,
MEASURING ELECTRIC VARIABLES