A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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PIEZOELECTRIC THIN FILM, PIEZOELECTRIC THIN FILM ELEMENT, PIEZOELECTRIC ACTUATOR, PIEZOELECTRIC SENSOR, HEAD ASSEMBLY, HEAD STACK ASSEMBLY, HARD DISK DRIVE, PRINTER HEAD, AND INKJET PRINTER DEVICE
Provided is a piezoelectric thin film having a large d31 and g31. A piezoelectric thin film 3 is superposed on a single-crystal substrate 1. The piezoelectric thin film 3 includes a crystalline oxide represented by chemical formula 1. One plane orientation of the oxide selected from the group consisting of (100), (001), (110), (101), and (111) is preferentially oriented in the normal direction DN of the single-crystal substrate 1. (1): (BixKy)TiO3 [In chemical formula 1, 0.30 ≤ x ≤ 0.60, 0.30 ≤ y ≤ 0.60, and 0.60 ≤ x + y ≤ 1.10.]
L'invention concerne un film mince piézoélectrique présentant un d31 et un g31 importants. Un film 3 mince piézoélectrique est superposé sur un substrat monocristallin 1. Le film 3 mince piézoélectrique comprend un oxyde cristallin représenté par la formule chimique 1. Une orientation de plan de l'oxyde sélectionnée dans le groupe constitué par (100), (001), (110), (101) et (111) est de préférence orientée dans la direction normale DN du substrat monocristallin 1. (1): (BixKy)TiO3 [Dans la formule chimique 1, 0,30 ≤ x ≤ 0,60, 0,30 ≤ y ≤ 0,60 et 0,60 ≤ x + y ≤ 1,10.]
ｄ３１及びｇ３１が大きい圧電薄膜が提供される。圧電薄膜３は、単結晶基板１に重なる。圧電薄膜３は、下記化学式１で表される結晶質の酸化物を含む。（１００）、（００１）、（１１０）、（１０１）及び（１１１）からなる群より選ばれる酸化物の面方位の一つが、単結晶基板１の法線方向ＤＮにおいて優先的に配向している。 （ＢｉｘＫｙ）ＴｉＯ３ （１） ［上記化学式１中、０．３０≦ｘ≦０．６０， ０．３０≦ｙ≦０．６０， ０．６０≦ｘ＋ｙ≦１．１０。］
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Provided is a piezoelectric thin film having a large d31 and g31. A piezoelectric thin film 3 is superposed on a single-crystal substrate 1. The piezoelectric thin film 3 includes a crystalline oxide represented by chemical formula 1. One plane orientation of the oxide selected from the group consisting of (100), (001), (110), (101), and (111) is preferentially oriented in the normal direction DN of the single-crystal substrate 1. (1): (BixKy)TiO3 [In chemical formula 1, 0.30 ≤ x ≤ 0.60, 0.30 ≤ y ≤ 0.60, and 0.60 ≤ x + y ≤ 1.10.]
L'invention concerne un film mince piézoélectrique présentant un d31 et un g31 importants. Un film 3 mince piézoélectrique est superposé sur un substrat monocristallin 1. Le film 3 mince piézoélectrique comprend un oxyde cristallin représenté par la formule chimique 1. Une orientation de plan de l'oxyde sélectionnée dans le groupe constitué par (100), (001), (110), (101) et (111) est de préférence orientée dans la direction normale DN du substrat monocristallin 1. (1): (BixKy)TiO3 [Dans la formule chimique 1, 0,30 ≤ x ≤ 0,60, 0,30 ≤ y ≤ 0,60 et 0,60 ≤ x + y ≤ 1,10.]
ｄ３１及びｇ３１が大きい圧電薄膜が提供される。圧電薄膜３は、単結晶基板１に重なる。圧電薄膜３は、下記化学式１で表される結晶質の酸化物を含む。（１００）、（００１）、（１１０）、（１０１）及び（１１１）からなる群より選ばれる酸化物の面方位の一つが、単結晶基板１の法線方向ＤＮにおいて優先的に配向している。 （ＢｉｘＫｙ）ＴｉＯ３ （１） ［上記化学式１中、０．３０≦ｘ≦０．６０， ０．３０≦ｙ≦０．６０， ０．６０≦ｘ＋ｙ≦１．１０。］
PIEZOELECTRIC THIN FILM, PIEZOELECTRIC THIN FILM ELEMENT, PIEZOELECTRIC ACTUATOR, PIEZOELECTRIC SENSOR, HEAD ASSEMBLY, HEAD STACK ASSEMBLY, HARD DISK DRIVE, PRINTER HEAD, AND INKJET PRINTER DEVICE
FILM MINCE PIÉZOÉLECTRIQUE, ÉLÉMENT DE FILM MINCE PIÉZOÉLECTRIQUE, ACTIONNEUR PIÉZOÉLECTRIQUE, CAPTEUR PIÉZOÉLECTRIQUE, ENSEMBLE DE TÊTE, ENSEMBLE DE PILE DE TÊTE, LECTEUR DE DISQUE DUR, TÊTE D'IMPRIMANTE ET DISPOSITIF D'IMPRIMANTE À JET D'ENCRE
圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置
MASAI TAKU (author) / SATO YUSUKE (author) / MORISHITA JUNPEI (author) / FUNAKUBO HIROSHI (author) / SHIMIZU TAKAO (author) / NEMOTO YUICHI (author)
2017-06-29
Patent
Electronic Resource
Japanese
IPC:
C30B
SINGLE-CRYSTAL GROWTH
,
Züchten von Einkristallen
/
B41J
TYPEWRITERS
,
Schreibmaschinen
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
G11B
Informationsspeicherung mit Relativbewegung zwischen Aufzeichnungsträger und Wandler
,
INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
H02N
Elektrische Maschinen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
,
ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR