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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SENSORS, SENSOR UND VERWENDUNG EINES SENSORS
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sensors, insbesondere eines Temperatursensors, umfassend mindestens eine elektrisch leitfähige Schicht und mindestens eine weitere Schicht, insbesondere eine Passivierungsschicht und/oder eine Isolationsschicht. Erfindungsgemäß wird die elektrisch leitfähige Schicht und/oder die weitere Schicht, insbesondere die Passivierungsschicht und/oder die Isolationsschicht, mittels Aerosol-Abscheidung (Aerosol Deposition Method, ADM) hergestellt.
The invention relates to a method for producing a sensor, in particular a temperature sensor, comprising at least one electrically conductive layer and at least one further layer, in particular a passivation layer and/or an insulation layer. According to the invention, the electrically conductive layer and/or the further layer, in particular the passivation layer and/or the insulation layer, is produced by means of aerosol deposition (aerosol deposition method, ADM).
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur, notamment d'un capteur de température, comprenant au moins une couche électroconductrice et au moins une autre couche, notamment une couche de passivation et/ou une couche d'isolation. Selon l'invention, la couche électroconductrice et/ou l'autre couche, notamment la couche de passivation et/ou la couche d'isolation, sont fabriquées par dépôt par aérosol (procédé ADM -Aerosol Deposition Method).
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SENSORS, SENSOR UND VERWENDUNG EINES SENSORS
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Sensors, insbesondere eines Temperatursensors, umfassend mindestens eine elektrisch leitfähige Schicht und mindestens eine weitere Schicht, insbesondere eine Passivierungsschicht und/oder eine Isolationsschicht. Erfindungsgemäß wird die elektrisch leitfähige Schicht und/oder die weitere Schicht, insbesondere die Passivierungsschicht und/oder die Isolationsschicht, mittels Aerosol-Abscheidung (Aerosol Deposition Method, ADM) hergestellt.
The invention relates to a method for producing a sensor, in particular a temperature sensor, comprising at least one electrically conductive layer and at least one further layer, in particular a passivation layer and/or an insulation layer. According to the invention, the electrically conductive layer and/or the further layer, in particular the passivation layer and/or the insulation layer, is produced by means of aerosol deposition (aerosol deposition method, ADM).
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur, notamment d'un capteur de température, comprenant au moins une couche électroconductrice et au moins une autre couche, notamment une couche de passivation et/ou une couche d'isolation. Selon l'invention, la couche électroconductrice et/ou l'autre couche, notamment la couche de passivation et/ou la couche d'isolation, sont fabriquées par dépôt par aérosol (procédé ADM -Aerosol Deposition Method).
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SENSORS, SENSOR UND VERWENDUNG EINES SENSORS
METHOD FOR PRODUCING A SENSOR, SENSOR, AND USE OF A SENSOR
PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CAPTEUR, CAPTEUR ET UTILISATION D'UN CAPTEUR
WIENAND KARLHEINZ (author) / DIETMANN STEFAN (author) / ZINKEVICH MATSVEI (author) / MOOS RALF (author) / SCHUBERT MICHAEL (author) / TURWITT MARTIN (author)
2018-04-19
Patent
Electronic Resource
German
IPC:
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
B32B
LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
,
Schichtkörper, d.h. aus Ebenen oder gewölbten Schichten, z.B. mit zell- oder wabenförmiger Form, aufgebaute Erzeugnisse
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
G01K
MEASURING TEMPERATURE
,
Messen der Temperatur
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SENSORS, SENSOR UND VERWENDUNG EINES SENSORS
European Patent Office | 2023
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|VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR WASSERDETEKTION UNTER VERWENDUNG EINES KAPAZITIVEN SENSORS
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