A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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SUBSTRATE FOR PROBE CARD, PROBE CARD, AND INSPECTION DEVICE
This substrate for a probe card is provided with a plurality of through-holes in which probes are disposed, the probes being brought into contact with a substance to be measured. The substrate comprises a silicon nitride ceramic, is provided with a first surface facing the substance to be measured and a second surface positioned opposite from the first surface, and includes a plurality of metal silicide crystal phases. The metal constituting part of the metal silicide is at least one selected from molybdenum, chrome, iron, nickel, manganese, vanadium, niobium, tantalum, cobalt, and tungsten.
L'invention concerne un substrat pour carte sonde pourvu d'une pluralité de trous traversants dans lesquels des sondes sont disposées, les sondes étant mises en contact avec une substance à mesurer. Le substrat comprend une céramique en nitrure de silicium, est pourvu d'une première surface faisant face à la substance à mesurer et d'une seconde surface positionnée à l'opposé de la première surface, et comprend une pluralité de phases cristallines de siliciure métallique. Le métal constituant une partie du siliciure métallique est au moins un élément choisi parmi le molybdène, le chrome, le fer, le nickel, le manganèse, le vanadium, le niobium, le tantale, le cobalt et le tungstène.
本開示のプローブカード用基板は、測定対象物に当接させるプローブが配置される貫通孔を複数備える。窒化珪素質セラミックスからなり、前記測定対象物に対向する第１面と、該第１面の反対に位置する第２面とを備え、金属珪化物の結晶相を複数含んでおり、前記金属珪化物を構成する金属が、モリブデン、クロム、鉄、ニッケル、マンガン、バナジウム、ニオブ、タンタル、コバルトおよびタングステンから選ばれる少なくとも１種である。
SUBSTRATE FOR PROBE CARD, PROBE CARD, AND INSPECTION DEVICE
This substrate for a probe card is provided with a plurality of through-holes in which probes are disposed, the probes being brought into contact with a substance to be measured. The substrate comprises a silicon nitride ceramic, is provided with a first surface facing the substance to be measured and a second surface positioned opposite from the first surface, and includes a plurality of metal silicide crystal phases. The metal constituting part of the metal silicide is at least one selected from molybdenum, chrome, iron, nickel, manganese, vanadium, niobium, tantalum, cobalt, and tungsten.
L'invention concerne un substrat pour carte sonde pourvu d'une pluralité de trous traversants dans lesquels des sondes sont disposées, les sondes étant mises en contact avec une substance à mesurer. Le substrat comprend une céramique en nitrure de silicium, est pourvu d'une première surface faisant face à la substance à mesurer et d'une seconde surface positionnée à l'opposé de la première surface, et comprend une pluralité de phases cristallines de siliciure métallique. Le métal constituant une partie du siliciure métallique est au moins un élément choisi parmi le molybdène, le chrome, le fer, le nickel, le manganèse, le vanadium, le niobium, le tantale, le cobalt et le tungstène.
本開示のプローブカード用基板は、測定対象物に当接させるプローブが配置される貫通孔を複数備える。窒化珪素質セラミックスからなり、前記測定対象物に対向する第１面と、該第１面の反対に位置する第２面とを備え、金属珪化物の結晶相を複数含んでおり、前記金属珪化物を構成する金属が、モリブデン、クロム、鉄、ニッケル、マンガン、バナジウム、ニオブ、タンタル、コバルトおよびタングステンから選ばれる少なくとも１種である。
SUBSTRATE FOR PROBE CARD, PROBE CARD, AND INSPECTION DEVICE
SUBSTRAT POUR CARTE SONDE, CARTE SONDE ET DISPOSITIF D'INSPECTION
プローブカード用基板、プローブカード、および検査装置
IMAI TOMOHIRO (author)
2018-05-03
Patent
Electronic Resource
Japanese
CERAMIC, PROBE GUIDING MEMBER, PROBE CARD AND SOCKET FOR PACKAGE INSPECTION
| European Patent Office | 2023
CERAMIC, PROBE GUIDANCE COMPONENT, PROBE CARD, AND SOCKET FOR PACKAGE INSPECTION
| European Patent Office | 2024
CERAMIC, PROBE GUIDING MEMBER, PROBE CARD, AND SOCKET FOR PACKAGE INSPECTION
| European Patent Office | 2021