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CERAMIC ADDITIVE MANUFACTURING TECHNIQUES FOR GAS INJECTORS
A ceramic gas injector and method of fabrication are described. The gas injector has an inlet portion to which a gas is introduced via an inlet hole and contains a conformal channel between the inlet hole and a sidewall, an outlet portion from which the gas is provided from the gas injector and a collar disposed between the inlet and outlet portions. The channel extends into the collar. The channel has channel sections each of which extends through the inlet portion and terminates at both inlet ends before reaching the inlet face and collar ends before reaching the outlet portion. Alternating adjacent pairs of channel sections are connected via the inlet ends with adjacent pairs that are not connected via the inlet ends connected via the collar ends. Ports in a sidewall of the collar are connected with an adjacent pairs of sections not connected via the inlet ends.
La présente invention concerne un injecteur de gaz céramique et un procédé de fabrication. L'injecteur de gaz a une partie d'entrée dans laquelle un gaz est introduit par l'intermédiaire d'un trou d'entrée et contient un canal conforme entre le trou d'entrée et une paroi latérale, une partie de sortie de laquelle le gaz est fourni depuis l'injecteur de gaz et un collier disposé entre les parties d'entrée et de sortie. Le canal s'étend dans le collier. Le canal a des sections de canal dont chacune s'étend à travers la partie d'entrée et se termine au niveau des deux extrémités d'entrée avant d'atteindre la face d'entrée et les extrémités de collier avant d'atteindre la partie de sortie. Des paires adjacentes alternées des sections de canal sont reliées par l'intermédiaire des extrémités d'entrée au moyen des paires adjacentes qui ne sont pas reliées par l'intermédiaire des extrémités d'entrée reliées par l'intermédiaire des extrémités de collier. Des orifices dans une paroi latérale du collier sont reliés à une paire adjacente de sections non reliées par l'intermédiaire des extrémités d'entrée.
CERAMIC ADDITIVE MANUFACTURING TECHNIQUES FOR GAS INJECTORS
A ceramic gas injector and method of fabrication are described. The gas injector has an inlet portion to which a gas is introduced via an inlet hole and contains a conformal channel between the inlet hole and a sidewall, an outlet portion from which the gas is provided from the gas injector and a collar disposed between the inlet and outlet portions. The channel extends into the collar. The channel has channel sections each of which extends through the inlet portion and terminates at both inlet ends before reaching the inlet face and collar ends before reaching the outlet portion. Alternating adjacent pairs of channel sections are connected via the inlet ends with adjacent pairs that are not connected via the inlet ends connected via the collar ends. Ports in a sidewall of the collar are connected with an adjacent pairs of sections not connected via the inlet ends.
La présente invention concerne un injecteur de gaz céramique et un procédé de fabrication. L'injecteur de gaz a une partie d'entrée dans laquelle un gaz est introduit par l'intermédiaire d'un trou d'entrée et contient un canal conforme entre le trou d'entrée et une paroi latérale, une partie de sortie de laquelle le gaz est fourni depuis l'injecteur de gaz et un collier disposé entre les parties d'entrée et de sortie. Le canal s'étend dans le collier. Le canal a des sections de canal dont chacune s'étend à travers la partie d'entrée et se termine au niveau des deux extrémités d'entrée avant d'atteindre la face d'entrée et les extrémités de collier avant d'atteindre la partie de sortie. Des paires adjacentes alternées des sections de canal sont reliées par l'intermédiaire des extrémités d'entrée au moyen des paires adjacentes qui ne sont pas reliées par l'intermédiaire des extrémités d'entrée reliées par l'intermédiaire des extrémités de collier. Des orifices dans une paroi latérale du collier sont reliés à une paire adjacente de sections non reliées par l'intermédiaire des extrémités d'entrée.
CERAMIC ADDITIVE MANUFACTURING TECHNIQUES FOR GAS INJECTORS
TECHNIQUES DE FABRICATION ADDITIVE CÉRAMIQUE DESTINÉES À DES INJECTEURS DE GAZ
HAZARIKA PANKAJ JYOTI (author) / TORBATISARRAF SEYEDALIREZA (author)
2021-10-14
Patent
Electronic Resource
English
IPC:
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
G03F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen
,
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES
CERAMIC ADDITIVE MANUFACTURING TECHNIQUES FOR GAS INJECTORS
| European Patent Office | 2023