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VACUUM CHAMBER AND CABIN DOOR STRUCTURE
A cabin door structure and a vacuum chamber, the cabin door structure comprising a sample loading hole (2) disposed on a top cover (1) and a cabin door (3) that covers the outside of the sample loading hole (2). A protrusion (4) is provided on the cabin door (3). The protrusion (4) extends inward into the sample loading hole (2) when the cabin door (3) covers the sample loading hole (2). The distance between the inner side surface of the protrusion (4) and the inner side surface of the top cover (1) is smaller than the thickness of a sample loading target plate (5). The vacuum chamber comprises the top cover (1), and the top cover (1) is provided with the cabin door structure. The cabin door structure may detect whether the sample loading target plate (5) is correctly installed in a target plate slot (23), and may also play a role in correcting deviation.
L'invention concerne une structure de porte de cabine et une chambre à vide, la structure de porte de cabine comprenant un orifice de chargement d'échantillon (2) disposé sur un couvercle supérieur (1) et une porte de cabine (3) qui recouvre l'extérieur de l'orifice de chargement d'échantillon (2). Une partie saillante (4) est ménagée sur la porte de cabine (3). La partie saillante (4) s'étend vers l'intérieur dans l'orifice de chargement d'échantillon (2) lorsque la porte de cabine (3) recouvre l'orifice de chargement d'échantillon (2). La distance entre la surface latérale interne de la partie saillante (4) et la surface latérale interne du couvercle supérieur (1) est inférieure à l'épaisseur d'une plaque cible de chargement d'échantillon (5). La chambre à vide comprend le couvercle supérieur (1), et le couvercle supérieur (1) est pourvu de la structure de porte de cabine. La structure de porte de cabine peut détecter si la plaque cible de chargement d'échantillon (5) est correctement installée dans une fente de plaque cible (23), et peut également jouer un rôle dans la correction de l'écart.
一种舱门结构及真空腔室,舱门结构包括设置在顶盖(1)上的加样孔(2)和盖装在加样孔(2)外侧的舱门(3),舱门(3)上设有凸起(4),凸起(4)在舱门(3)盖装在加样孔(2)上时向内延伸伸入加样孔(2),凸起(4)的内侧侧面与顶盖(1)的内侧侧面之间的间距小于加样靶板(5)的厚度。真空腔室包括顶盖(1),顶盖(1)上设有该舱门结构。该舱门结构能够检测加样靶板(5)是否正确安装到靶板槽(23)内,还能起到纠偏的作用。
VACUUM CHAMBER AND CABIN DOOR STRUCTURE
A cabin door structure and a vacuum chamber, the cabin door structure comprising a sample loading hole (2) disposed on a top cover (1) and a cabin door (3) that covers the outside of the sample loading hole (2). A protrusion (4) is provided on the cabin door (3). The protrusion (4) extends inward into the sample loading hole (2) when the cabin door (3) covers the sample loading hole (2). The distance between the inner side surface of the protrusion (4) and the inner side surface of the top cover (1) is smaller than the thickness of a sample loading target plate (5). The vacuum chamber comprises the top cover (1), and the top cover (1) is provided with the cabin door structure. The cabin door structure may detect whether the sample loading target plate (5) is correctly installed in a target plate slot (23), and may also play a role in correcting deviation.
L'invention concerne une structure de porte de cabine et une chambre à vide, la structure de porte de cabine comprenant un orifice de chargement d'échantillon (2) disposé sur un couvercle supérieur (1) et une porte de cabine (3) qui recouvre l'extérieur de l'orifice de chargement d'échantillon (2). Une partie saillante (4) est ménagée sur la porte de cabine (3). La partie saillante (4) s'étend vers l'intérieur dans l'orifice de chargement d'échantillon (2) lorsque la porte de cabine (3) recouvre l'orifice de chargement d'échantillon (2). La distance entre la surface latérale interne de la partie saillante (4) et la surface latérale interne du couvercle supérieur (1) est inférieure à l'épaisseur d'une plaque cible de chargement d'échantillon (5). La chambre à vide comprend le couvercle supérieur (1), et le couvercle supérieur (1) est pourvu de la structure de porte de cabine. La structure de porte de cabine peut détecter si la plaque cible de chargement d'échantillon (5) est correctement installée dans une fente de plaque cible (23), et peut également jouer un rôle dans la correction de l'écart.
一种舱门结构及真空腔室,舱门结构包括设置在顶盖(1)上的加样孔(2)和盖装在加样孔(2)外侧的舱门(3),舱门(3)上设有凸起(4),凸起(4)在舱门(3)盖装在加样孔(2)上时向内延伸伸入加样孔(2),凸起(4)的内侧侧面与顶盖(1)的内侧侧面之间的间距小于加样靶板(5)的厚度。真空腔室包括顶盖(1),顶盖(1)上设有该舱门结构。该舱门结构能够检测加样靶板(5)是否正确安装到靶板槽(23)内,还能起到纠偏的作用。
VACUUM CHAMBER AND CABIN DOOR STRUCTURE
CHAMBRE À VIDE ET STRUCTURE DE PORTE DE CABINE
真空腔室和舱门结构
PAN NENGKE (author) / WANG YUNFEI (author)
2022-04-07
Patent
Electronic Resource
Chinese
IPC:
E06B
Feste oder bewegliche Abschlüsse für Öffnungen in Bauwerken, Fahrzeugen, Zäunen oder ähnlichen Einfriedungen allgemein, z.B. Türen, Fenster, Läden, Tore
,
FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES, OR LIKE ENCLOSURES, IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
/
E05B
LOCKS
,
Schlösser
/
E05F
DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION
,
Vorrichtungen zum Bewegen der Flügel in die Offen- oder Schließstellung
/
G01N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
,
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
Sliding type sealing cabin door and nitrogen chamber transition cabin
European Patent Office | 2022
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