A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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FILM-ATTACHED MEMBER
A film-attached member according to the present disclosure comprises: a substrate made of ceramic; and a film disposed on a section of at least one surface of the substrate, the film being made of an oxide, a fluoride, an acid fluoride, or a nitride of a rare-earth element. An exposed section of the surface of the substrate has a hydrophilic property, and the surface of the film has a water-repellant property. Another film-attached member according to the present disclosure comprises: a substrate made of quartz; and a film disposed on a section of at least one surface of the substrate, the film being made of an oxide, a fluoride, an acid fluoride, or a nitride of a rare-earth element. An exposed section of the surface of the substrate has a hydrophilic property, and the surface of the film has a water-repellant property.
L'invention concerne un élément fixé à un film comprenant : un substrat fait de céramique ; et un film disposé sur une section d'au moins une surface du substrat, le film étant constitué d'un oxyde, d'un fluorure, d'un fluorure d'acide, ou d'un nitrure d'un élément des terres rares. Une section exposée de la surface du substrat présente une propriété hydrophile, et la surface du film présente une propriété hydrofuge. Un autre élément fixé à un film selon la présente invention comprend : un substrat fait de quartz ; et un film disposé sur une section d'au moins une surface du substrat, le film étant constitué d'un oxyde, d'un fluorure, d'un fluorure d'acide, ou d'un nitrure d'un élément des terres rares. Une section exposée de la surface du substrat présente une propriété hydrophile, et la surface du film présente une propriété hydrofuge.
本開示に係る膜付部材は、セラミックスからなる基材と、基材の少なくともいずれかの表面の一部に希土類元素の酸化物、弗化物、酸弗化物または窒化物の膜とを備えてなる。基材の表面の露出部は親水性を有し、膜の表面は撥水性を有する。また、本開示に係る膜付部材は、石英からなる基材と、基材の少なくともいずれかの表面の一部に希土類元素の酸化物、弗化物、酸弗化物または窒化物の膜とを備えてなる。基材の表面の露出部は親水性を有し、膜の表面は撥水性を有する。
FILM-ATTACHED MEMBER
A film-attached member according to the present disclosure comprises: a substrate made of ceramic; and a film disposed on a section of at least one surface of the substrate, the film being made of an oxide, a fluoride, an acid fluoride, or a nitride of a rare-earth element. An exposed section of the surface of the substrate has a hydrophilic property, and the surface of the film has a water-repellant property. Another film-attached member according to the present disclosure comprises: a substrate made of quartz; and a film disposed on a section of at least one surface of the substrate, the film being made of an oxide, a fluoride, an acid fluoride, or a nitride of a rare-earth element. An exposed section of the surface of the substrate has a hydrophilic property, and the surface of the film has a water-repellant property.
L'invention concerne un élément fixé à un film comprenant : un substrat fait de céramique ; et un film disposé sur une section d'au moins une surface du substrat, le film étant constitué d'un oxyde, d'un fluorure, d'un fluorure d'acide, ou d'un nitrure d'un élément des terres rares. Une section exposée de la surface du substrat présente une propriété hydrophile, et la surface du film présente une propriété hydrofuge. Un autre élément fixé à un film selon la présente invention comprend : un substrat fait de quartz ; et un film disposé sur une section d'au moins une surface du substrat, le film étant constitué d'un oxyde, d'un fluorure, d'un fluorure d'acide, ou d'un nitrure d'un élément des terres rares. Une section exposée de la surface du substrat présente une propriété hydrophile, et la surface du film présente une propriété hydrofuge.
本開示に係る膜付部材は、セラミックスからなる基材と、基材の少なくともいずれかの表面の一部に希土類元素の酸化物、弗化物、酸弗化物または窒化物の膜とを備えてなる。基材の表面の露出部は親水性を有し、膜の表面は撥水性を有する。また、本開示に係る膜付部材は、石英からなる基材と、基材の少なくともいずれかの表面の一部に希土類元素の酸化物、弗化物、酸弗化物または窒化物の膜とを備えてなる。基材の表面の露出部は親水性を有し、膜の表面は撥水性を有する。
FILM-ATTACHED MEMBER
ÉLÉMENT FIXÉ À UN FILM
膜付部材
NAKAMOTO KATSUYA (author) / ISHIKAWA KAZUHIRO (author)
2022-12-01
Patent
Electronic Resource
Japanese