A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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A supporting device for a vacuum pipe, according to the present invention, comprises: a sleeve unit provided on a vacuum pipe through-hole formed in a bottom body of an installation space where semiconductor and display manufacturing equipment is installed; and a vacuum pipe support unit provided on the sleeve unit and supporting the vacuum pipe on the sleeve unit.
Un dispositif de support pour un tuyau à vide, selon la présente invention, comprend : une unité de manchon disposée sur un trou traversant de tuyau à vide formé dans un corps inférieur d'un espace d'installation où est installé un équipement de fabrication de semi-conducteur et d'écran ; et une unité de support de tuyau à vide disposée sur l'unité de manchon et supportant le tuyau à vide sur l'unité de manchon.
본 발명에 따른 진공배관용 지지장치는 반도체 및 디스플레이 제조 설비가 설치되는 설치 공간의 바닥체에 형성된 진공배관 관통홀 상에 제공되는 슬리브 유닛; 및 상기 슬리브 유닛 상에 제공되며, 상기 슬리브 유닛 상에서 상기 진공배관을 지지하는 진공배관 지지유닛;을 포함한다.
A supporting device for a vacuum pipe, according to the present invention, comprises: a sleeve unit provided on a vacuum pipe through-hole formed in a bottom body of an installation space where semiconductor and display manufacturing equipment is installed; and a vacuum pipe support unit provided on the sleeve unit and supporting the vacuum pipe on the sleeve unit.
Un dispositif de support pour un tuyau à vide, selon la présente invention, comprend : une unité de manchon disposée sur un trou traversant de tuyau à vide formé dans un corps inférieur d'un espace d'installation où est installé un équipement de fabrication de semi-conducteur et d'écran ; et une unité de support de tuyau à vide disposée sur l'unité de manchon et supportant le tuyau à vide sur l'unité de manchon.
본 발명에 따른 진공배관용 지지장치는 반도체 및 디스플레이 제조 설비가 설치되는 설치 공간의 바닥체에 형성된 진공배관 관통홀 상에 제공되는 슬리브 유닛; 및 상기 슬리브 유닛 상에 제공되며, 상기 슬리브 유닛 상에서 상기 진공배관을 지지하는 진공배관 지지유닛;을 포함한다.
SUPPORTING DEVICE FOR VACUUM PIPE
DISPOSITIF DE SUPPORT POUR TUYAU À VIDE
진공배관용 지지장치
PARK SUN YOUNG (author)
2024-11-21
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
F16L
PIPES
,
Rohre
/
E04B
Allgemeine Baukonstruktionen
,
GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
H02G
INSTALLATION OF ELECTRIC CABLES OR LINES, OR OF COMBINED OPTICAL AND ELECTRIC CABLES OR LINES
,
Verlegen oder Installieren elektrischer Kabel oder Leitungen, Verlegen oder Installieren kombinierter optischer und elektrischer Kabel oder Leitungen