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DOPED SUBSTANTIALLY SINGLE-PHASE RARE EARTH OXIDE-ZIRCONIA MATERIALS AND METHODS OF MAKING THE SAME
New substantially single-phase polycrystalline materials are disclosed. The new substantially single-phase polycrystalline materials generally include from 0.01-20 mol. % zirconia, at least 80 mol. % of one or more rare earth oxides (REO), and 40 to 7000 ppm aluminum by weight, wherein the substantially single-phase polycrystalline material comprises at least 95 wt. % of a solid-solution of REO-zirconia as measured by x-ray diffraction. The new substantially single-phase polycrystalline materials may realize a high density, such as a density of at least 95% of theoretical density, or higher. The new substantially single-phase polycrystalline materials may be in the form of a semiconductor component, including those suited for use in a plasma chamber environment.
L'invention concerne de nouveaux matériaux polycristallins sensiblement monophasés. Les nouveaux matériaux polycristallins sensiblement monophasés comprennent généralement de 0,01 à 20 % en moles de zircone, au moins 80 % en moles d'un ou de plusieurs oxydes de terres rares (REO) et de 40 à 7000 ppm d'aluminium en poids, le matériau polycristallin sensiblement monophasé comprenant au moins 95 % en poids d'une solution solide de REO-zircone telle que mesurée par diffraction des rayons X. Les nouveaux matériaux polycristallins sensiblement monophasés peuvent atteindre une densité élevée, telle qu'une densité d'au moins 95 % de la densité théorique, ou plus. Les nouveaux matériaux polycristallins sensiblement monophasés peuvent se présenter sous la forme d'un composant semi-conducteur, y compris ceux appropriés pour une utilisation dans un environnement de chambre à plasma.
DOPED SUBSTANTIALLY SINGLE-PHASE RARE EARTH OXIDE-ZIRCONIA MATERIALS AND METHODS OF MAKING THE SAME
New substantially single-phase polycrystalline materials are disclosed. The new substantially single-phase polycrystalline materials generally include from 0.01-20 mol. % zirconia, at least 80 mol. % of one or more rare earth oxides (REO), and 40 to 7000 ppm aluminum by weight, wherein the substantially single-phase polycrystalline material comprises at least 95 wt. % of a solid-solution of REO-zirconia as measured by x-ray diffraction. The new substantially single-phase polycrystalline materials may realize a high density, such as a density of at least 95% of theoretical density, or higher. The new substantially single-phase polycrystalline materials may be in the form of a semiconductor component, including those suited for use in a plasma chamber environment.
L'invention concerne de nouveaux matériaux polycristallins sensiblement monophasés. Les nouveaux matériaux polycristallins sensiblement monophasés comprennent généralement de 0,01 à 20 % en moles de zircone, au moins 80 % en moles d'un ou de plusieurs oxydes de terres rares (REO) et de 40 à 7000 ppm d'aluminium en poids, le matériau polycristallin sensiblement monophasé comprenant au moins 95 % en poids d'une solution solide de REO-zircone telle que mesurée par diffraction des rayons X. Les nouveaux matériaux polycristallins sensiblement monophasés peuvent atteindre une densité élevée, telle qu'une densité d'au moins 95 % de la densité théorique, ou plus. Les nouveaux matériaux polycristallins sensiblement monophasés peuvent se présenter sous la forme d'un composant semi-conducteur, y compris ceux appropriés pour une utilisation dans un environnement de chambre à plasma.
DOPED SUBSTANTIALLY SINGLE-PHASE RARE EARTH OXIDE-ZIRCONIA MATERIALS AND METHODS OF MAKING THE SAME
MATÉRIAUX D'OXYDE DE TERRE RARE-ZIRCONE SENSIBLEMENT MONOPHASÉS DOPÉS ET LEURS PROCÉDÉS DE FABRICATION
LANDIN STEVEN (author) / HOOK DAVID HENRY (author)
2025-01-09
Patent
Electronic Resource
English
Rare-earth doped zirconia fibres by sol-gel processing
British Library Online Contents | 1996
|Range of metastability of tetragonal zirconia in some rare earth doped zirconia fibers
British Library Online Contents | 1998
|European Patent Office | 2023
|European Patent Office | 2022
|Rare earth-doped materials for photonics
British Library Online Contents | 2003
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