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CORROSION-RESISTANT MEMBER
Provided is a corrosion-resistant member that does not tend to react with hydrogen chalcogenide even at high temperature and does not tend to generate chalcogen-containing substances. The corrosion-resistant member is provided in a passivation device having a reaction vessel for performing passivation using a hydrogen chalcogenide gas and forms a portion of the reaction vessel that is in contact with the hydrogen chalcogenide gas. The corrosion-resistant member has a sintered body containing at least one selected from oxides of aluminum, nitrides of aluminum, oxides of zirconium, nitrides of zirconium, oxides of silicon, nitrides of silicon, and nitrides of boron, and the total proportion of oxides of aluminum, nitrides of aluminum, oxides of zirconium, nitrides of zirconium, oxides of silicon, nitrides of silicon, and nitrides of boron in the sintered body is more than 90 mass%.
L'invention concerne un élément résistant à la corrosion qui n'a pas tendance à réagir avec du chalcogénure d'hydrogène même à haute température et n'a pas tendance à générer des substances contenant des chalcogènes. L'élément résistant à la corrosion est disposé dans un dispositif de passivation ayant un récipient de réaction pour effectuer une passivation à l'aide d'un gaz de chalcogénure d'hydrogène et forme une partie du récipient de réaction qui est en contact avec le gaz de chalcogénure d'hydrogène. L'élément résistant à la corrosion comporte un corps fritté contenant au moins un élément choisi parmi les oxydes d'aluminium, de nitrures d'aluminium, d'oxydes de zirconium, de nitrures de zirconium, d'oxydes de silicium, de nitrures de silicium et de nitrures de bore, et la proportion totale d'oxydes d'aluminium, de nitrures d'aluminium, d'oxydes de zirconium, de nitrures de zirconium, d'oxydes de silicium, de nitrures de silicium et de nitrures de bore dans le corps fritté est supérieure à 90 % en masse.
高温下においてもカルコゲン化水素と反応しにくく、カルコゲン含有物の生成が生じにくい耐食性部材を提供する。耐食性部材は、カルコゲン化水素のガスを用いてパッシベーションを行う反応容器を有するパッシベーション装置に備えられ、反応容器のうちカルコゲン化水素のガスと接触する部分を形成する。そして、耐食性部材は、アルミニウムの酸化物、アルミニウムの窒化物、ジルコニウムの酸化物、ジルコニウムの窒化物、ケイ素の酸化物、ケイ素の窒化物、及びホウ素の窒化物から選ばれる少なくとも一種を含有する焼結体を有し、焼結体におけるアルミニウムの酸化物、アルミニウムの窒化物、ジルコニウムの酸化物、ジルコニウムの窒化物、ケイ素の酸化物、ケイ素の窒化物、及びホウ素の窒化物の合計の割合が90質量%超過である。
CORROSION-RESISTANT MEMBER
Provided is a corrosion-resistant member that does not tend to react with hydrogen chalcogenide even at high temperature and does not tend to generate chalcogen-containing substances. The corrosion-resistant member is provided in a passivation device having a reaction vessel for performing passivation using a hydrogen chalcogenide gas and forms a portion of the reaction vessel that is in contact with the hydrogen chalcogenide gas. The corrosion-resistant member has a sintered body containing at least one selected from oxides of aluminum, nitrides of aluminum, oxides of zirconium, nitrides of zirconium, oxides of silicon, nitrides of silicon, and nitrides of boron, and the total proportion of oxides of aluminum, nitrides of aluminum, oxides of zirconium, nitrides of zirconium, oxides of silicon, nitrides of silicon, and nitrides of boron in the sintered body is more than 90 mass%.
L'invention concerne un élément résistant à la corrosion qui n'a pas tendance à réagir avec du chalcogénure d'hydrogène même à haute température et n'a pas tendance à générer des substances contenant des chalcogènes. L'élément résistant à la corrosion est disposé dans un dispositif de passivation ayant un récipient de réaction pour effectuer une passivation à l'aide d'un gaz de chalcogénure d'hydrogène et forme une partie du récipient de réaction qui est en contact avec le gaz de chalcogénure d'hydrogène. L'élément résistant à la corrosion comporte un corps fritté contenant au moins un élément choisi parmi les oxydes d'aluminium, de nitrures d'aluminium, d'oxydes de zirconium, de nitrures de zirconium, d'oxydes de silicium, de nitrures de silicium et de nitrures de bore, et la proportion totale d'oxydes d'aluminium, de nitrures d'aluminium, d'oxydes de zirconium, de nitrures de zirconium, d'oxydes de silicium, de nitrures de silicium et de nitrures de bore dans le corps fritté est supérieure à 90 % en masse.
高温下においてもカルコゲン化水素と反応しにくく、カルコゲン含有物の生成が生じにくい耐食性部材を提供する。耐食性部材は、カルコゲン化水素のガスを用いてパッシベーションを行う反応容器を有するパッシベーション装置に備えられ、反応容器のうちカルコゲン化水素のガスと接触する部分を形成する。そして、耐食性部材は、アルミニウムの酸化物、アルミニウムの窒化物、ジルコニウムの酸化物、ジルコニウムの窒化物、ケイ素の酸化物、ケイ素の窒化物、及びホウ素の窒化物から選ばれる少なくとも一種を含有する焼結体を有し、焼結体におけるアルミニウムの酸化物、アルミニウムの窒化物、ジルコニウムの酸化物、ジルコニウムの窒化物、ケイ素の酸化物、ケイ素の窒化物、及びホウ素の窒化物の合計の割合が90質量%超過である。
CORROSION-RESISTANT MEMBER
ÉLÉMENT RÉSISTANT À LA CORROSION
耐食性部材
IWASAKI JUMPEI (author) / YASUHARA HIDEKI (author) / KONDO RYOHEI (author) / IMAI TAKUYA (author)
2025-01-16
Patent
Electronic Resource
Japanese