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Comprehensive monitoring of particulates in deionized water
Die Optimierung der Ausbeute in der Waferfertigung erfordert u.a. eine praezise Ueberwachung des im Prozess verwendeten deionisierten Wassers. Der Artikel beschreibt eine Ueberwachungsanlage, die aus dem Wasserdurchfluss einen Probestrom abzweigt der durch einen Partikelsensor laeuft und in einem Teilchenzaehler eine qualitative und quantitative Auswertung vornimmt. Dargestellt ist schematisch der Teilchenzaehler fuer Submikrometerpartikel, eine Eich-Kurve fuer einen Sensor im 0.4 bis 25 Mikrometerbereich sowie eine Korngroessenverteilungskurve.
Comprehensive monitoring of particulates in deionized water
Die Optimierung der Ausbeute in der Waferfertigung erfordert u.a. eine praezise Ueberwachung des im Prozess verwendeten deionisierten Wassers. Der Artikel beschreibt eine Ueberwachungsanlage, die aus dem Wasserdurchfluss einen Probestrom abzweigt der durch einen Partikelsensor laeuft und in einem Teilchenzaehler eine qualitative und quantitative Auswertung vornimmt. Dargestellt ist schematisch der Teilchenzaehler fuer Submikrometerpartikel, eine Eich-Kurve fuer einen Sensor im 0.4 bis 25 Mikrometerbereich sowie eine Korngroessenverteilungskurve.
Comprehensive monitoring of particulates in deionized water
Zusammengefasste Ueberwachung von Partikeln im deionisiertem Wasser
Menear, J. (author)
Solid State Technology ; 30 ; 209-211
1987
3 Seiten, 5 Bilder, 10 Quellen
Article (Journal)
English
WASSER , IONENAUSTAUSCHER , VERUNREINIGUNG , WASSERAUFBEREITUNG , FILTER (STOFFTRENNUNG) , OSMOSE , UEBERWACHUNG , KORNGROESSE , SUBMIKROMETERBEREICH , ANALYSENMESSTECHNIK , PHYSIKALISCHE ANALYSE , PROBENAHME , KALIBRIEREN (ABGLEICHEN) , HALBLEITERTECHNOLOGIE , TEILCHENZAEHLER , PARTIKEL , KORNGROESSENVERTEILUNG
High-rise deionized water systems
| Tema Archive | 1989
Dissolution behavior of hollow hydroxyapatite microspheres immersed in deionized water
| British Library Online Contents | 2006