A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Vibration criteria for nanotechnology facilities. Recent design criteria for nanotechnology production and research
In den letzten Jahren wurden einige neue Fabriken für nanotechnische Produktionen, bevorzugt im Raum Dresden und Karlsruhe, gebaut. Schon in den 1970er Jahren gab es Empfehlungen für maximale Vibrationshöhen, die mit abnehmender Größe der bearbeiteten Strukturen abnehmen. Allerdings gab es keine Empfehlungen für Strukturen unter 0,25 mikrom. Den Kriterien sind die Schwingniveaus in einer neuen Halbleiterfabrik gegenübergestellt. Für 90 nm Strukturen sind im Bereich zwischen 2 und 100 Hz Schwinggeschwindigkeiten von bis zu 5 mikrom/s zulässig. Die theoretischen Grenzwerte für verschiedene Größen (50nm, 1 nm, 0,1 nm) sind angegeben. Um die Bedingungen einzuhalten, sind bei der Konstruktion der Gebäude extreme Mittel erforderlich. Viele Gesichtspunkte müssen berücksichtigt werden: Vibrationsniveau auf der Erde, dynamische Eigenschaften der Erde, Stockwerk von Produktion und Forschung, selbstinduzierte Vibrationen, z.B. durch Personen und Zeitdauer des empfindlichen Prozesses. Schwingungsisolierungen mit Luft-, Stahl- oder Gummifedern können nicht angewendet werden, weil sie mit starken Vibrationen auf anregungen im Gebäude reagieren. Bei den Laufwegen in den Reinräumen müssen besondere Maßnahmen gegen Vibrationen getroffen werden. Schließlich wird auf die Ursachen von Vibrationen eingegangen, die beachtet werden müssen, wenn ein altes Gebäude für eine Nutzung nachgerüstet werden muss.
Vibration criteria for nanotechnology facilities. Recent design criteria for nanotechnology production and research
In den letzten Jahren wurden einige neue Fabriken für nanotechnische Produktionen, bevorzugt im Raum Dresden und Karlsruhe, gebaut. Schon in den 1970er Jahren gab es Empfehlungen für maximale Vibrationshöhen, die mit abnehmender Größe der bearbeiteten Strukturen abnehmen. Allerdings gab es keine Empfehlungen für Strukturen unter 0,25 mikrom. Den Kriterien sind die Schwingniveaus in einer neuen Halbleiterfabrik gegenübergestellt. Für 90 nm Strukturen sind im Bereich zwischen 2 und 100 Hz Schwinggeschwindigkeiten von bis zu 5 mikrom/s zulässig. Die theoretischen Grenzwerte für verschiedene Größen (50nm, 1 nm, 0,1 nm) sind angegeben. Um die Bedingungen einzuhalten, sind bei der Konstruktion der Gebäude extreme Mittel erforderlich. Viele Gesichtspunkte müssen berücksichtigt werden: Vibrationsniveau auf der Erde, dynamische Eigenschaften der Erde, Stockwerk von Produktion und Forschung, selbstinduzierte Vibrationen, z.B. durch Personen und Zeitdauer des empfindlichen Prozesses. Schwingungsisolierungen mit Luft-, Stahl- oder Gummifedern können nicht angewendet werden, weil sie mit starken Vibrationen auf anregungen im Gebäude reagieren. Bei den Laufwegen in den Reinräumen müssen besondere Maßnahmen gegen Vibrationen getroffen werden. Schließlich wird auf die Ursachen von Vibrationen eingegangen, die beachtet werden müssen, wenn ein altes Gebäude für eine Nutzung nachgerüstet werden muss.
Vibration criteria for nanotechnology facilities. Recent design criteria for nanotechnology production and research
Vibrationskriterien für Nanotechnologiefertigungen. Neue Planungskriterien für Nanotechnologie in Produktion und Forschung
Heiland, D. (author) / Beyer, K. (author)
2005
8 Seiten, 8 Bilder, 2 Tabellen, 7 Quellen
Conference paper
English
Construction of Nanotechnology Facilities
| Online Contents | 2004
| British Library Conference Proceedings | 2005
| British Library Online Contents | 2001
| TIBKAT | 1999