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Der Begriff Reinstwasser hat sich im Laufe der Jahre geaendert. Die Anforderungen an die Reinstwasserqualitaet steigen staendig, wobei eindeutig die Mikroelektronik den Massstab setzt. Hier ist Reinstwasser ein 'Schluessel-Produktionsmittel', das nicht nur salzarm sondern auch extrem arm an organischen, an partikulaeren und an biologischen Verunreinigungen sein muss. Der Beitrag gibt eine Uebersicht ueber die Reinstwassertechnologie.
Der Begriff Reinstwasser hat sich im Laufe der Jahre geaendert. Die Anforderungen an die Reinstwasserqualitaet steigen staendig, wobei eindeutig die Mikroelektronik den Massstab setzt. Hier ist Reinstwasser ein 'Schluessel-Produktionsmittel', das nicht nur salzarm sondern auch extrem arm an organischen, an partikulaeren und an biologischen Verunreinigungen sein muss. Der Beitrag gibt eine Uebersicht ueber die Reinstwassertechnologie.
Reinstwasser fuer Spitzentechnologien
Purest water for high technology
Meuli, K. (author)
Technische Rundschau, Bern ; 79 ; 62-66
1987
5 Seiten, 3 Bilder
Article (Journal)
German
Erzeugung von Reinstwasser fuer die Mikroelektronik
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Contamination Control Reinstwasser
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Vom Rohwasser zum Reinstwasser
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