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Bulk silane - a potential hazard or a potential hazard reducer?
Silan (SiH4) ist ein Gas, das in der Halbleiterfertigung für die Herstellung reinen Siliziums benötigt wird. Da sich Silan an der Luft spontan entzündet, ist die Handhabung und Verarbeitung mit Gefahren verbunden. Durch eine Explosion in einem Silan-Lager in den siebziger Jahren wurde der Sicherheitsaspekt in das Blickfeld gerückt. Die Firma Sematech hat in ihrer Forschung die Mechanismen von Silan-Explosionen und spontaner Entzündung bei verschiedenen Gaskonzentrationen untersucht, die Ergebnisse werden kurz vorgestellt. Ein wesentliches Augenmerk richtet der Beitrag auf die zentralisierte Lagerung und Versorgung von Fertigungseinrichtungen mit Silan, auf folgende Aspekte wird dabei eingegangen: Konfiguration einer zentralen Lagerung und Verteilung, Kosten und Fehlerwahrscheinlichkeit, Bündel-Installation als Konsequenz aus Unfällen mit Einzel-Zylindern, Untersuchungen von Unfallursachen durch die CGA (Compressed Gas Association).
Bulk silane - a potential hazard or a potential hazard reducer?
Silan (SiH4) ist ein Gas, das in der Halbleiterfertigung für die Herstellung reinen Siliziums benötigt wird. Da sich Silan an der Luft spontan entzündet, ist die Handhabung und Verarbeitung mit Gefahren verbunden. Durch eine Explosion in einem Silan-Lager in den siebziger Jahren wurde der Sicherheitsaspekt in das Blickfeld gerückt. Die Firma Sematech hat in ihrer Forschung die Mechanismen von Silan-Explosionen und spontaner Entzündung bei verschiedenen Gaskonzentrationen untersucht, die Ergebnisse werden kurz vorgestellt. Ein wesentliches Augenmerk richtet der Beitrag auf die zentralisierte Lagerung und Versorgung von Fertigungseinrichtungen mit Silan, auf folgende Aspekte wird dabei eingegangen: Konfiguration einer zentralen Lagerung und Verteilung, Kosten und Fehlerwahrscheinlichkeit, Bündel-Installation als Konsequenz aus Unfällen mit Einzel-Zylindern, Untersuchungen von Unfallursachen durch die CGA (Compressed Gas Association).
Bulk silane - a potential hazard or a potential hazard reducer?
Zentralisierte Silan-Versorgung - eine potentielle Gefahr oder die Vermeidung von Gefahren?
Laurin, L. (author)
Solid State Technology ; 41 ; 103-106
1998
3 Seiten, 2 Bilder, 1 Tabelle, 6 Quellen
Article (Journal)
English
Silan , Lagerhaltung , Gasversorgung , Sicherheit , Unfallverhütung , Explosion , Explosionsschutz , Gasgemisch , Ventil , Leck
Flammable Liquids Present Potential Hazard
| British Library Online Contents | 2001
Combustion Of Paints: The Hazard Potential
| British Library Online Contents | 1997
The potential fire hazard of lighting assemblies
| British Library Online Contents | 1999