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Analytische Ueberwachung von Anlagen zur Herstellung von entsalztem Wasser hoher Reinheit
Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen werden besondere Anforderungen an die Reinheit des verwendeten Wassers gestellt. Das Rohwasser muss aufbereitet werden, bevor es der Umkehrosmose zugefuehrt wird. Das Kontrollsystem zur Ueberwachung der Wasserqualitaet greift dabei an drei Stellen ein: - Bei der Ueberwachung des Rohwassers (Leitungs- bzw. Brunnenwasser), - bei der Ueberwachung des aufbereiteten Wassers, das der Umkehrosmoseanlage zugefuehrt wird, - und nach der Umkehrosmose, ehe es als Prozesswasser verwendet wird. (Prasser)
Analytische Ueberwachung von Anlagen zur Herstellung von entsalztem Wasser hoher Reinheit
Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen werden besondere Anforderungen an die Reinheit des verwendeten Wassers gestellt. Das Rohwasser muss aufbereitet werden, bevor es der Umkehrosmose zugefuehrt wird. Das Kontrollsystem zur Ueberwachung der Wasserqualitaet greift dabei an drei Stellen ein: - Bei der Ueberwachung des Rohwassers (Leitungs- bzw. Brunnenwasser), - bei der Ueberwachung des aufbereiteten Wassers, das der Umkehrosmoseanlage zugefuehrt wird, - und nach der Umkehrosmose, ehe es als Prozesswasser verwendet wird. (Prasser)
Analytische Ueberwachung von Anlagen zur Herstellung von entsalztem Wasser hoher Reinheit
Analytical control of equipment for the production of high quality desalinated water
Kunert, V. (author)
Galvanotechnik ; 79 ; 2891-2898
1988
8 Seiten, 16 Bilder, 1 Quelle
Article (Journal)
German
Korrosionsbeständigkeit <> Stähle hoher Reinheit
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