Computersimulation zur Synthese von Siliciumnitrid‐Partikeln in Gasphasenreaktoren: Fid-Bau Portal

Computersimulation zur Synthese von Siliciumnitrid‐Partikeln in Gasphasenreaktoren

Bensberg, A. / Roth, P. / Brink, R. / Lange, H.

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Title:

Computersimulation zur Synthese von Siliciumnitrid‐Partikeln in Gasphasenreaktoren

Contributors:

Bensberg, A. (author) / Roth, P. (author) / Brink, R. (author) / Lange, H. (author)

Published in:

Chemie Ingenieur Technik ; 69 ; 1304

Publication date:

1997-09-01

Size:

1 pages

ISSN:

0009-286X , 1522-2640

DOI:

https://doi.org/10.1002/cite.3306909138

Type of media:

Article (Journal)

Type of material:

Electronic Resource

Language:

English

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