Echtzeitmessung reaktiver Prozessgase in der Mikroelektronik mittels FTIR Spektroskopie: Fid-Bau Portal

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Echtzeitmessung reaktiver Prozessgase in der Mikroelektronik mittels FTIR Spektroskopie

Mohn, J. / Gälli, R. / Emmenegger, L.

10.1002/cite.200600037.abs

Bei der Herstellung von Mikroelektronikbausteinen werden zahlreiche sehr teure, reaktive und klimaschädigende Prozessgase eingesetzt. Deshalb haben die entsprechende Prozessoptimierung, sowie die Entwicklung und Kontrolle geeigneter Recycling‐ bzw. Abgasreinigungseinrichtungen, eine große wirtschaftliche und ökologische Bedeutung. Grundlage dafür ist die kontinuierliche Bestimmung der Prozessgaszusammensetzung mit hoher Präzision und zeitlicher Auflösung. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde eine dafür geeignete Messmethode, basierend auf der Fourier Transform Infrarot (FTIR) ‐Spektroskopie, entwickelt und validiert.

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Echtzeitmessung reaktiver Prozessgase in der Mikroelektronik mittels FTIR Spektroskopie

Mohn, J. / Gälli, R. / Emmenegger, L.

10.1002/cite.200600037.abs

Bei der Herstellung von Mikroelektronikbausteinen werden zahlreiche sehr teure, reaktive und klimaschädigende Prozessgase eingesetzt. Deshalb haben die entsprechende Prozessoptimierung, sowie die Entwicklung und Kontrolle geeigneter Recycling‐ bzw. Abgasreinigungseinrichtungen, eine große wirtschaftliche und ökologische Bedeutung. Grundlage dafür ist die kontinuierliche Bestimmung der Prozessgaszusammensetzung mit hoher Präzision und zeitlicher Auflösung. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde eine dafür geeignete Messmethode, basierend auf der Fourier Transform Infrarot (FTIR) ‐Spektroskopie, entwickelt und validiert.

Echtzeitmessung reaktiver Prozessgase in der Mikroelektronik mittels FTIR Spektroskopie

Mohn, J. / Gälli, R. / Emmenegger, L.

10.1002/cite.200600037.abs

Bei der Herstellung von Mikroelektronikbausteinen werden zahlreiche sehr teure, reaktive und klimaschädigende Prozessgase eingesetzt. Deshalb haben die entsprechende Prozessoptimierung, sowie die Entwicklung und Kontrolle geeigneter Recycling‐ bzw. Abgasreinigungseinrichtungen, eine große wirtschaftliche und ökologische Bedeutung. Grundlage dafür ist die kontinuierliche Bestimmung der Prozessgaszusammensetzung mit hoher Präzision und zeitlicher Auflösung. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wurde eine dafür geeignete Messmethode, basierend auf der Fourier Transform Infrarot (FTIR) ‐Spektroskopie, entwickelt und validiert.

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Title:

Echtzeitmessung reaktiver Prozessgase in der Mikroelektronik mittels FTIR Spektroskopie

Contributors:

Mohn, J. (author) / Gälli, R. (author) / Emmenegger, L. (author)

Published in:

Chemie Ingenieur Technik ; 78 ; 1524-1530

Publication date:

2006-10-01

Size:

7 pages

ISSN:

0009-286X , 1522-2640

DOI:

https://doi.org/10.1002/cite.200600037

Type of media:

Article (Journal)

Type of material:

Electronic Resource

Language:

English

Keywords:

Spektroskopie , Prozessoptimierung

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