Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Vinyl-Polymer-Modified Hybrid Materials and Photoacid-Catalyzed Sol-Gel Reactions
Vinyl-Polymer-Modified Hybrid Materials and Photoacid-Catalyzed Sol-Gel Reactions
Vinyl-Polymer-Modified Hybrid Materials and Photoacid-Catalyzed Sol-Gel Reactions
Wei, Y. (Autor:in) / Wang, W. (Autor:in) / Yeh, J.-M. (Autor:in) / Wang, B. (Autor:in) / Mark, J. E. / Lee, C. Y.-C. / Bianconi, P. A. / American Chemical Society / Science and Engineering, Inc; Division of Polymeric Materials
Symposium; 207th National meeting, Hybrid organic-inorganic composites ; 1994 ; San Diego; CA
01.01.1995
17 pages
Aufsatz (Konferenz)
Englisch
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Novel Positive-Tone Chemically Amplified Resists with Photoacid Generator in the Polymer Chains
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