Characterization of Si-on-insulator buried surfaces by FTIR and scatterometry [4103-16]: Fid-Bau Portal

Characterization of Si-on-insulator buried surfaces by FTIR and scatterometry [4103-16]

Yakovlev, V. A. / Bosch-Charpenay, S. / Rosenthal, P. A. / Solomon, P. R. / Xu, J. / Stover, J. C. / Anc, M. J. / Alles, M. L. / SPIE

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Characterization of Si-on-insulator buried surfaces by FTIR and scatterometry [4103-16]

Yakovlev, V. A. / Bosch-Charpenay, S. / Rosenthal, P. A. / Solomon, P. R. / Xu, J. / Stover, J. C. / Anc, M. J. / Alles, M. L. / SPIE

Characterization of Si-on-insulator buried surfaces by FTIR and scatterometry [4103-16]

Yakovlev, V. A. / Bosch-Charpenay, S. / Rosenthal, P. A. / Solomon, P. R. / Xu, J. / Stover, J. C. / Anc, M. J. / Alles, M. L. / SPIE

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Characterization of Si-on-insulator buried surfaces by FTIR and scatterometry [4103-16]

Beteiligte:

Yakovlev, V. A. (Autor:in) / Bosch-Charpenay, S. (Autor:in) / Rosenthal, P. A. (Autor:in) / Solomon, P. R. (Autor:in) / Xu, J. (Autor:in) / Stover, J. C. (Autor:in) / Anc, M. J. (Autor:in) / Alles, M. L. (Autor:in) / Hanssen, L. M. / SPIE

Kongress:

Conference; 2nd, Optical diagnostic methods for inorganic materials ; 2000 ; San Diego, CA

Erschienen in:

Optical diagnostic methods for inorganic materials ; 90-97

PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 4103

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

8 pages

ISBN:

0819437484

ISSN:

0277-786X

Medientyp:

Aufsatz (Konferenz)

Format:

Sprache:

Englisch

Schlagwörter:

optical diagnostic methods , inorganic materials , SPIE

Ribbing, C. G. / Staaf, O. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000

Comparison of AC laser calorimeter measurements with FTIR measurements of superconductors [4103-07]

Kawate, E. / Koguchi, M. / Wang, Z. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000

Einbaubereiche nach DIN 4103‐1 [4]

Wiley | 2019

Testing the accuracy of a laser calorimeter by comparison with an FTIR [4103-30]

Kawate, E. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000

Development of an adiabatic laser calorimeter [4103-22]

Kawate, E. / Hanssen, L. M. / Kaplan, S. G. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000

Nach oben