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    Titel:

    Structural analysis of chalcogenide waveguides using Rutherford backscattering spectroscopy (RBS) [4468-07]

    Beteiligte:

    Rivero, C. A. (Autor:in) / Sharek, P. S. (Autor:in) / Nootz, G. (Autor:in) / Lopez, C. (Autor:in) / Richardson, K. A. (Autor:in) / Schulte, A. (Autor:in) / Irwin, R. (Autor:in) / Galstian, T. (Autor:in) / Hamel, V. (Autor:in) / Turcotte, K. (Autor:in)

    Kongress:

    Conference, Engineering thin films with ion beams, nanoscale diagnostics, and molecular manufacturing ; 2001 ; San Diego, CA

    Erschienen in:

    Engineering thin films with ion beams, nanoscale diagnostics, and molecular manufacturing ; 47-56

    PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 4468

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2001

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISBN:

    0819441821

    ISSN:

    0277-786X

    Medientyp:

    Aufsatz (Konferenz)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Schlagwörter:

    thin films , ion beams , nanoscale diagnostics , molecular manufacturing , SPIE

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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