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    Titel:

    Charakterisierung von Nanopartikeln in CMP-Slurries der Halbleiterindustrie

    Beteiligte:

    Kuntzsch, T. (Autor:in) / Hollatz, M. (Autor:in) / Stintz, M. (Autor:in) / Ripperger, S. (Autor:in) / DECHEMA Gesellschaft fur Chemische Technik und Biotechnologie / VDI

    Kongress:

    GVC/DECHEMA Jahrestagungen ; 2002 ; Wiesbaden, Germany

    Erschienen in:

    GVC/DECHEMA Jahrestagungen ; 550

    CHEMIE INGENIEUR TECHNIK ; 74

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    550 pages

    ISSN:

    0009-286X

    Medientyp:

    Aufsatz (Konferenz)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Deutsch

    Schlagwörter:

    GVC , DECHEMA , chemische technik , chemieingenieurwesen , verfahrenstechnik , biotechnologie

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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