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    Title:

    Charakterisierung von Nanopartikeln in CMP-Slurries der Halbleiterindustrie

    Contributors:

    Kuntzsch, T. (author) / Hollatz, M. (author) / Stintz, M. (author) / Ripperger, S. (author) / DECHEMA Gesellschaft fur Chemische Technik und Biotechnologie / VDI

    Conference:

    GVC/DECHEMA Jahrestagungen ; 2002 ; Wiesbaden, Germany

    Published in:

    GVC/DECHEMA Jahrestagungen ; 550

    CHEMIE INGENIEUR TECHNIK ; 74

    Publication date:

    2002-01-01

    Size:

    550 pages

    ISSN:

    0009-286X

    Type of media:

    Conference paper

    Type of material:

    Print

    Language:

    German

    Keywords:

    GVC , DECHEMA , chemische technik , chemieingenieurwesen , verfahrenstechnik , biotechnologie

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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