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    Titel:

    Alumina Porous Membranes Obtained by One-Step Anodizing Process in H2SO4 for MEMS Packaging

    Beteiligte:

    Rico, R. H. (Autor:in) / Celis, J. (Autor:in) / Bois, B. D. (Autor:in) / Van Hoof, C. (Autor:in) / Witvrouw, A. (Autor:in) / Ruythooren, W. (Autor:in) / Traversa, E. / Electrochemical Society

    Kongress:

    Symposium, Nanostructured metal oxides: processing and applications ; 2006 ; Cancun, Mexico

    Erschienen in:

    Nanostructured metal oxides: processing and applications ; 75-84

    ECS TRANSACTIONS ; 3

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISBN:

    9781566775090 , 1566775094

    Medientyp:

    Aufsatz (Konferenz)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Schlagwörter:

    Nanostructured metal oxides , Metal oxides

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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