Oxidation of TaSi~2 thin films on polycrystalline tantalum: Fid-Bau Portal

Oxidation of TaSi~2 thin films on polycrystalline tantalum

Ringeisen, F. / Alaoui, M. / Bolmont, D. / Koulmann, J. J.

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Titel:

Oxidation of TaSi~2 thin films on polycrystalline tantalum

Beteiligte:

Ringeisen, F. (Autor:in) / Alaoui, M. (Autor:in) / Bolmont, D. (Autor:in) / Koulmann, J. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 62 ; 167

Erscheinungsdatum:

01.01.1992

Format / Umfang:

167 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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