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Monte-Carlo simulation study of the vacuum deposition process

Sasajima, Y. / Tsukida, T. / Ozawa, S. / Yamamoto, R.

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Titel:

Monte-Carlo simulation study of the vacuum deposition process

Beteiligte:

Sasajima, Y. (Autor:in) / Tsukida, T. (Autor:in) / Ozawa, S. (Autor:in) / Yamamoto, R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 60 ; 653

Erscheinungsdatum:

01.01.1992

Format / Umfang:

653 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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