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Metallic microdevices fabricated by deep-etch UV lithography

Daniau, W. / Ballandras, S. / Bercot, P. / Hauden, D.

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Titel:

Metallic microdevices fabricated by deep-etch UV lithography

Beteiligte:

Daniau, W. (Autor:in) / Ballandras, S. (Autor:in) / Bercot, P. (Autor:in) / Hauden, D. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- A ; 160 ; L5

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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