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Einfluss der Oberflaechenvorbehandlung auf das Wachstum von PACVD-TiN Schichten
Einfluss der Oberflaechenvorbehandlung auf das Wachstum von PACVD-TiN Schichten
Einfluss der Oberflaechenvorbehandlung auf das Wachstum von PACVD-TiN Schichten
Dietz, T. (Autor:in) / Boeschen, R. (Autor:in) / Vetters, H. (Autor:in) / Mayr, P. (Autor:in)
01.01.1993
86 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Unbekannt
DDC:
620.11
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