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    Titel:

    Plasma sensor measurement in pulsed PACVD-Plasmas

    Beteiligte:

    Kluemper-Westkamp, H. (Autor:in) / Mehner, A. (Autor:in) / Hoffmann, F. (Autor:in) / Mayr, P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK ; 29 ; 459-465

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0933-5137

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Deutsch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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