Plasma nitriding of sputtered Ti films: Fid-Bau Portal

Plasma nitriding of sputtered Ti films

Musil, J. / Vlcek, J. / Jezek, V. / Kubasek, M.

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Titel:

Plasma nitriding of sputtered Ti films

Beteiligte:

Musil, J. (Autor:in) / Vlcek, J. (Autor:in) / Jezek, V. (Autor:in) / Kubasek, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- A ; 163 ; 181

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

181 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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