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    Titel:

    The plasma nitriding treatment of TiN/TiCN multilayer films

    Beteiligte:

    Zheng, J. (Autor:in) / Hao, J. (Autor:in) / Liu, X. (Autor:in) / Gong, Q. (Autor:in) / Liu, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 268 ; 195-203

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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