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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Optical characterization of Si wafers for ultralarge-scale integration

    Beteiligte:

    Ogawa, T. (Autor:in) / Taijing, L. (Autor:in) / Toyoda, K. (Autor:in) / Nango, N. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 20 ; 172

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1993

    Format / Umfang:

    172 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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